[發明專利]用于顯影設備的排氣箱及黃光制程顯影設備

有效

• 申請號: 201710084350.4
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN106842832B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 張瑞軍;王松
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;顧楠楠

1.一種用于顯影設備的排氣箱，其特征在于：包括箱體(1)，所述箱體(1)的其中一側表面上設有均勻分布的排氣孔(2)，在箱體(1)上設有與箱體(1)內腔連通的連接管(3)。

2.根據權利要求1所述的用于顯影設備的排氣箱，其特征在于：所述排氣孔(2)呈蜂窩狀排布。

3.根據權利要求2所述的用于顯影設備的排氣箱，其特征在于：所述排氣孔(2)的孔徑為10～20mm。

4.根據權利要求1所述的用于顯影設備的排氣箱，其特征在于：所述箱體(1)為長方體。

5.一種黃光制程顯影設備，包括多個相互拼接而成的顯影腔室(5)，在顯影腔室(5)中設有用于將待顯影基板依次輸送至每個顯影腔室(5)中的傳送機構(6)，在每個顯影腔室(5)的同一位置上分別設有與顯影腔室(5)連通的排氣管(7)，所述排氣管(7)上設有風量調節閥(4)，其特征在于：還包括如權利要求(1)所述的用于顯影設備的排氣箱，每個顯影腔室(5)內分別設有一個與排氣管(7)連接的排氣箱，所述排氣孔(2)與顯影腔室(5)的頂部相對，連接管(3)與排氣管(7)相連。

6.根據權利要求5所述的黃光制程顯影設備，其特征在于：每個排氣管(7)的排氣量按照顯影腔室(5)的排列順序從頭到尾排氣量依次增大。

7.根據權利要求5所述的黃光制程顯影設備，其特征在于：所述排氣孔(2)呈蜂窩狀排布。

8.根據權利要求5所述的黃光制程顯影設備，其特征在于：所述排氣孔(2)的孔徑為10～20mm。

9.根據權利要求5所述的黃光制程顯影設備，其特征在于：所述箱體(1)為長方體。

10.根據權利要求9所述的黃光制成顯影設備，其特征在于：所述箱體(1)的長度為300～800mm，寬度為100～200mm，高度為100～200mm。