[發(fā)明專利]一種光固型樹脂研磨墊及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710081383.3 | 申請(qǐng)日: | 2017-02-15 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106826540A | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-06-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 周群飛;饒橋兵;馬海翔 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 藍(lán)思科技(長(zhǎng)沙)有限公司 |
| 主分類號(hào): | B24B37/11 | 分類號(hào): | B24B37/11;B24D3/28;B24D18/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人: | 趙青朵 |
| 地址: | 410311 湖南省*** | 國(guó)省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 光固型 樹脂 研磨 及其 制備 方法 | ||
1.一種光固型樹脂研磨墊,由以下原料制備得到:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊,其特征在于,所述磨料選自三氧化二鋁、二氧化硅和碳化硅中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊,其特征在于,所述填料選自碳酸鈣、硫酸鋇和碳酸氫鈉中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊,其特征在于,所述光固型樹脂選自環(huán)氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯和聚醚丙烯酸酯中的一種或多種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊,其特征在于,所述金剛石的粒度為10~50μm,所述磨料的粒度為20~80μm,所述填料的粒度為20~100μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊,其特征在于,所述金剛石的含量為4~10wt%,磨料的含量為15~35wt%,填料的含量為20~30wt%,光固型樹脂的含量為30~50wt%。
7.權(quán)利要求1所述的光固型樹脂研磨墊的制備方法,包括:
將金剛石、磨料、填料與光固型樹脂混合后填充到模具中,再進(jìn)行真空除泡處理,得到初始研磨墊;
在所述初始研磨墊表面粘貼薄膜,再進(jìn)行光固化,得到光固型樹脂研磨墊。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述混合的時(shí)間為10~30min,所述真空除泡處理的時(shí)間為10~60min,所述光固化的時(shí)間為3~10min。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述光固化在UV固化爐中進(jìn)行,所述薄膜為PET膜。
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