[發明專利]用于半導體系統維護的通用服務車

有效

• 申請號: 201710080304.7
• 申請日: 2017-02-15
• 公開（公告）號: CN107086194B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 特倫斯·喬治·伯尼爾;約瑟夫·衛;托尼·紐倫
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;張華

1.一種用于儲藏襯底處理系統的部件的服務車，所述服務車包括：

第一側，其被配置為儲藏從所述襯底處理系統移除的傳送板，其中所述第一側包括

第一安裝件和第二安裝件，其中所述第一安裝件和所述第二安裝件間隔開以保持所述傳送板的相應上部，并且其中所述第一安裝件和所述第二安裝件中的每一個包括相應的槽，所述槽布置成保持所述傳送板的上部，和

第一緩沖件和第二緩沖件，其中所述第一緩沖件和所述第二緩沖件間隔開以鄰接所述傳送板的相應下部，并且其中所述第一緩沖件和所述第二緩沖件中的每一個布置成保持所述傳送板的所述第一側和所述下部之間的期望距離；和

第二側，包括抽屜和開口中的至少一個，以提供對所述服務車的內部的訪問。

2.根據權利要求1所述的服務車，其中所述服務車的所述內部包括用于所述襯底處理系統的承載環的儲藏室。

3.根據權利要求2所述的服務車，其中用于所述承載環的所述儲藏室包括至少一對橫檔，所述至少一對橫檔布置成通過所述服務車的所述第二側中的所述開口接納所述承載環。

4.根據權利要求3所述的服務車，其中用于所述承載環的所述儲藏室包括布置成將所述承載環保持在所述至少一對橫檔上的阻擋物。

5.根據權利要求1所述的服務車，其中所述抽屜被構造成儲藏與維修濕式清潔優化(WCO)沉積襯底處理系統相關聯的工具。

6.根據權利要求5所述的服務車，其中所述抽屜包括具有對應于所述工具的相應形狀的切口。

7.根據權利要求6所述的服務車，其中所述切口包括對應于所述襯底處理系統的最小接觸面積(MCA)特征的切口。

8.根據權利要求1所述的服務車，其中所述第二側包括所述抽屜、用于在所述抽屜下方的開口中布置的承載環的儲藏室、以及用于在所述承載環的所述儲藏室下方的開口中的前開式統集盒的儲藏室。

9.根據權利要求8所述的服務車，其中所述第二側包括門，所述門布置成選擇性地關閉所述第二側中的所述開口。

10.根據權利要求9所述的服務車，其中

所述第二側包括鄰近所述抽屜的第一側布置的鉸接閂鎖；

所述鉸接閂鎖在所述抽屜下方延伸到所述開口的上部；

所述鉸接閂鎖具有打開位置和關閉位置；

當所述鉸接閂鎖處于所述打開位置并且所述門被關閉時，所述鉸接閂鎖不妨礙所述抽屜被打開；和

當所述鉸接閂鎖處于所述關閉位置并且所述門被關閉時，所述門捕獲延伸到所述開口的所述上部中的所述鉸接閂鎖，并且所述鉸接閂鎖防止所述抽屜被打開。