[發(fā)明專利]干燥組件及顯影裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710078898.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-14
• 公開（公告）號(hào): CN107065453A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳建;陸相晚;朱濤;袁慧芳;唐文浩;方群;董安鑫;尹海斌;鐘國強(qiáng);殷瑞;余婭;吉強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/40
• 分類號(hào): G03F7/40
• 代理公司: 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11138
• 代理人: 滕一斌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示基板制造領(lǐng)域，特別涉及一種干燥組件及顯影裝置。

背景技術(shù)

在顯示基板的制造過程中，需要依次通過光刻膠涂覆、曝光、顯影、刻蝕和光刻膠剝離等工藝，以在基板(襯底基板或者形成有一定圖形的基板)上形成圖形。在顯影工藝中，通常需要使用顯影裝置。

顯影裝置通常包括顯影組件、水洗組件和干燥組件，在對(duì)基板進(jìn)行曝光之后，首先可以由顯影組件對(duì)曝光后的基板進(jìn)行顯影，然后由水洗組件對(duì)顯影后的基板進(jìn)行水洗以清除殘留在基板上的顯影液，最后由干燥組件對(duì)水洗后的基板進(jìn)行干燥，以清除殘留在基板上的水漬。相關(guān)技術(shù)中，干燥組件通常為空氣刀，空氣刀包括設(shè)置有空腔的空氣刀本體，空氣刀本體上設(shè)置進(jìn)氣口和出氣口。在采用空氣刀對(duì)基板進(jìn)行干燥時(shí)，可以將進(jìn)氣口與空氣源連接，將出氣口朝向基板，空氣源中的空氣從進(jìn)氣口進(jìn)入空氣刀本體的空腔并從出氣口吹向基板。

在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)相關(guān)技術(shù)至少存在以下問題：

光刻膠中含有非離子表面活性劑，非離子表面活性劑中的親水基團(tuán)會(huì)使得較多的水漬殘留在基板上，空氣刀采用吹氣的方式無法較好的清除水漬，因此，空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問題，本發(fā)明提供一種干燥組件及顯影裝置。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供一種干燥組件，所述干燥組件包括：干燥腔室、噴液件和加熱件，所述噴液件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，所述加熱件設(shè)置在所述干燥腔室外，所述加熱件用于對(duì)所述干燥腔室進(jìn)行加熱，所述噴液件用于向所述干燥腔室內(nèi)的基板噴灑預(yù)設(shè)液體，所述預(yù)設(shè)液體能夠與水形成共沸物。

可選地，所述共沸物的沸點(diǎn)低于水的沸點(diǎn)。

可選地，所述預(yù)設(shè)液體包括異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一種。

可選地，所述干燥組件還包括：吹氣件，所述吹氣件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，用于向所述基板吹氣。

可選地，所述噴液件包括導(dǎo)液管和設(shè)置在所述導(dǎo)液管的外壁上的至少一個(gè)噴嘴，每個(gè)所述噴嘴與所述導(dǎo)液管的內(nèi)腔連通，且每個(gè)所述噴嘴朝向所述基板，所述導(dǎo)液管與儲(chǔ)液罐連通，所述儲(chǔ)液罐內(nèi)的所述預(yù)設(shè)液體能夠依次通過所述導(dǎo)液管和所述噴嘴噴向所述基板。

可選地，所述吹氣件包括導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管上設(shè)置有吹氣口，且所述導(dǎo)氣管與氣體源連通，所述氣體源的氣體能夠依次通過所述導(dǎo)氣管和所述吹氣口吹向所述基板。

可選地，所述干燥組件還包括：溫度檢測(cè)件，所述溫度檢測(cè)件設(shè)置在所述干燥腔室內(nèi)，用于檢測(cè)所述干燥腔室內(nèi)的溫度。

可選地，所述噴液件的噴灑速率范圍為10毫升每秒～30毫升每秒，所述干燥腔室內(nèi)的溫度的范圍為50攝氏度～70攝氏度，或者，60攝氏度～80攝氏度；

所述預(yù)設(shè)液體為摩爾比為0～1.5:1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，摩爾比為0～2:1的異丙醇和二氯乙烷的混合溶液。

第二方面，提供一種顯影裝置，所述顯影裝置包括：顯影組件、水洗組件、傳送組件和第一方面所述的干燥組件，所述水洗組件包括水洗腔室，所述干燥組件的干燥腔室的一端與所述水洗腔室連通，另一端開口，所述傳送組件用于將所述基板從所述水洗腔室傳送至所述干燥腔室，并從所述干燥腔室另一端的開口傳送出所述干燥腔室。

可選地，所述干燥組件的噴液件和吹氣件按照所述傳送組件的傳送方向依次設(shè)置在所述干燥腔室的上方。

可選地，所述傳送組件的傳送速率為3000毫米每分鐘。

本發(fā)明提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：

本發(fā)明提供的干燥組件及顯影裝置，干燥組件包括干燥腔室、噴液件和加熱件，噴液件設(shè)置在干燥腔室內(nèi)，加熱件設(shè)置在干燥腔室外，加熱件用于對(duì)干燥腔室進(jìn)行加熱，噴液件用于向干燥腔室內(nèi)的基板噴灑預(yù)設(shè)液體，預(yù)設(shè)液體能夠與水形成共沸物。由于干燥組件的噴液件能夠向基板噴灑預(yù)設(shè)液體，加熱件能夠通過干燥腔室向基板加熱，使預(yù)設(shè)液體與水形成共沸物，進(jìn)而使得水漬蒸發(fā)，因此，可以通過預(yù)設(shè)液體將水漬帶離基板，解決了空氣刀對(duì)基板的干燥效果較差的問題，達(dá)到了能夠較好的干燥基板的效果。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性的，并不能限制本發(fā)明。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。