[發明專利]干燥組件及顯影裝置

在審

• 申請號: 201710078898.8
• 申請日: 2017-02-14
• 公開（公告）號: CN107065453A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 陳建;陸相晚;朱濤;袁慧芳;唐文浩;方群;董安鑫;尹海斌;鐘國強;殷瑞;余婭;吉強
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/40
• 分類號: G03F7/40
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

1.一種干燥組件，其特征在于，所述干燥組件包括：干燥腔室、噴液件和加熱件，所述噴液件設置在所述干燥腔室內，所述加熱件設置在所述干燥腔室外，所述加熱件用于對所述干燥腔室進行加熱，所述噴液件用于向所述干燥腔室內的基板噴灑預設液體，所述預設液體能夠與水形成共沸物。

2.根據權利要求1所述的干燥組件，其特征在于，所述共沸物的沸點低于水的沸點。

3.根據權利要求2所述的干燥組件，其特征在于，所述預設液體包括異丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一種。

4.根據權利要求1至3任一所述的干燥組件，其特征在于，所述干燥組件還包括：吹氣件，所述吹氣件設置在所述干燥腔室內，用于向所述基板吹氣。

5.根據權利要求4所述的干燥組件，其特征在于，所述噴液件包括導液管和設置在所述導液管的外壁上的至少一個噴嘴，每個所述噴嘴與所述導液管的內腔連通，且每個所述噴嘴朝向所述基板，所述導液管與儲液罐連通，所述儲液罐內的所述預設液體能夠依次通過所述導液管和所述噴嘴噴向所述基板。

6.根據權利要求4所述的干燥組件，其特征在于，所述吹氣件包括導氣管，所述導氣管上設置有吹氣口，且所述導氣管與氣體源連通，所述氣體源的氣體能夠依次通過所述導氣管和所述吹氣口吹向所述基板。

7.根據權利要求4所述的干燥組件，其特征在于，所述干燥組件還包括：溫度檢測件，所述溫度檢測件設置在所述干燥腔室內，用于檢測所述干燥腔室內的溫度。

8.根據權利要求7所述的干燥組件，其特征在于，

所述噴液件的噴灑速率范圍為10毫升每秒～30毫升每秒，所述干燥腔室內的溫度的范圍為50攝氏度～70攝氏度，或者，60攝氏度～80攝氏度；

所述預設液體為摩爾比為0～1.5∶1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，摩爾比為0～2∶1的異丙醇和二氯乙烷的混合溶液。

9.一種顯影裝置，其特征在于，所述顯影裝置包括：顯影組件、水洗組件、傳送組件和權利要求1至8任一所述的干燥組件，所述水洗組件包括水洗腔室，所述干燥組件的干燥腔室的一端與所述水洗腔室連通，另一端開口，所述傳送組件用于將所述基板從所述水洗腔室傳送至所述干燥腔室，并從所述干燥腔室另一端的開口傳送出所述干燥腔室。

10.根據權利要求9所述的顯影裝置，其特征在于，所述干燥組件的噴液件和吹氣件按照所述傳送組件的傳送方向依次設置在所述干燥腔室的上方。