[發明專利]麥克風及其制造方法

有效

• 申請號: 201710077955.0
• 申請日: 2017-02-14
• 公開（公告）號: CN107979799B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 俞一善
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明提供麥克風及其制造方法。本發明提供微電子機械系統(MEMS)麥克風。MEMS麥克風包括：基底，其包括音頻孔，并且沿著上表面邊緣在預定段處具有氧化物層；振動電極，其由支撐層支撐，所述支撐層在音頻孔相對應的上部，以從氧化物層向中心內側分離的狀態，沿著上表面邊緣形成；固定電極，其形成在氧化物層的上部，并且支撐層的一側接合到固定電極的下表面的一側；和背板，其形成在固定電極的上部，并且支撐層的另一側接合到背板的下表面的一側。

相關申請的交叉引用

本申請要求2016年10月21日在韓國知識產權局提交的第10-2016-0137786號韓國專利申請的優先權，其全部內容引入本文以供參考。

技術領域

本發明涉及一種麥克風及其制造方法。

背景技術

通常，麥克風是將語音轉換為電信號的裝置，并且最近逐漸形成為小尺寸，因此已經開發了使用微電子機械系統(MEMS)技術的麥克風。

這樣的MEMS麥克風與常規的駐極體電容式麥克風(ECM)相比具有對潮濕和熱的強耐受性，可以以小尺寸形成，并且可以與信號處理電路集成。

在MEMS麥克風的通信環境中，周圍噪聲是大的限制要素，并且需要用于去除這種周圍環境的噪聲的技術。

最近，作為去除周圍噪聲的一般方法，主要使用這樣一種方法：使用音頻元件分析非語音段處的噪聲譜，并使用該噪聲譜估計語音段處的噪聲譜，以從混合有語音和噪聲的信號中扣除噪聲，從而去除噪聲。

此外，MEMS麥克風需要用于振動的噪聲以及語音(即，聲音)的噪聲的魯棒結構。

特別地，在應用于車輛的MEMS麥克風中，聲源的距離遠，并且，因為車輛環境中由振動產生的噪聲可變地發生，MEMS麥克風比應用于移動設備的元件需要魯棒性更好的結構。

也就是說，在應用于車輛的MEMS麥克風中，需要研究和開發這樣一種結構，其能夠提高甚至對由周期性發生的振動產生的噪聲的靈敏度。

本部分的公開內容是提供本發明的背景。申請人注意到，本部分可能包含本申請之前可獲得的信息。然而，盡管提供本部分，申請人并不承認本部分中包含的任何信息構成現有技術。

發明內容

本發明的實施方式提供一種麥克風，其包括：基底，其包括音頻孔，并且沿著上表面邊緣在預定段內形成有氧化物層；振動電極，其由支撐層支撐，所述支撐層在音頻孔相對應的上部，以從氧化物層向中心內側分離的狀態，沿著上表面邊緣形成；固定電極，其形成在氧化物層的上部，并且支撐層的一側接合到固定電極的下表面的一側；和背板，其形成在固定電極的上部，并且支撐層的另一側接合到背板的下表面的一側。

支撐層在與背板連接的另一側可以包括連接電極。

在固定電極處，可以貫通多個空氣通道。

在背板處，可以形成多個通孔以對應于空氣通道。

在背板處，在多個通孔的外側可以形成電極通道，并且在電極通道處可以形成電極極板，以與振動電極和固定電極電連接。

根據本發明的實施方式，在將振動電極連接到固定電極和背板的下表面的同時保持與基底分離的狀態的結構中，當從外部引入振動時，振動電極的振動被基底抑制，并且通過振動電極和固定電極的相應的振動位移，可以使振動噪聲最小化。

此外，在本發明的實施方式的詳細描述中直接或隱含地描述了由于本發明的實施方式可以獲得或估計的效果。也就是說，將在稍后描述的詳細描述中，描述根據本發明的實施方式估計的各種效果。

附圖說明

圖1是根據本發明的實施方式的麥克風的示意性截面圖。

圖2至圖10是示出根據本發明的實施方式的麥克風的順序處理的圖。