[發明專利]麥克風及其制造方法

有效

• 申請號: 201710077955.0
• 申請日: 2017-02-14
• 公開（公告）號: CN107979799B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 俞一善
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種麥克風，包括：

基底，其包括音頻孔，并且沿著上表面邊緣在預定段內形成有氧化物層；

振動電極，其在與所述音頻孔相對應的上部，以與所述氧化物層向中心內側分離的狀態，由支撐層支撐，所述支撐層沿著上表面邊緣形成；

固定電極，其形成在所述氧化物層的上部，并且所述支撐層的一側接合到所述固定電極的下表面的一側；和

背板，其形成在所述固定電極的上部，并且所述支撐層的另一側接合到所述背板的下表面的一側，

其中所述振動電極通過所述支撐層連接至所述固定電極的下表面和所述背板的下表面。

2.根據權利要求1所述的麥克風，其中所述支撐層在與所述背板連接的另一側包括連接電極。

3.根據權利要求1所述的麥克風，其中在所述固定電極處，貫通多個空氣通道。

4.根據權利要求3所述的麥克風，其中在所述背板處，形成多個通孔，以對應于所述空氣通道。

5.根據權利要求4所述的麥克風，其中在所述背板處，在所述多個通孔的外側形成電極通道，并且

在所述電極通道處形成電極極板，以與所述振動電極和所述固定電極電連接。

6.一種制造麥克風的方法，所述方法包括以下步驟：

形成振動電極，所述振動電極由支撐層支撐，所述支撐層以從形成在基底的上表面的氧化物層向中心內側隔開預定間隙的狀態沿著上表面邊緣形成；

在沿著所述基底的上表面邊緣形成的所述氧化物層的上部形成固定電極；以及

在所述固定電極和所述氧化物層的上部形成背板，

其中，所述支撐層的一側接合到所述固定電極的下表面的一側，

其中，所述支撐層的另一側接合到所述背板的下表面的一側，并且

其中，所述振動電極通過所述支撐層連接至所述固定電極的下表面和所述背板的下表面。

7.根據權利要求6所述的方法，其中形成振動電極的步驟包括：

在所述基底的一個表面形成第一氧化物膜；以及

在所述第一氧化物膜的上表面形成振動電極。

8.根據權利要求6所述的方法，其中形成固定電極的步驟包括：

在所述振動電極的上表面形成第二氧化物膜；

形成貫通所述第二氧化物膜以便與所述振動電極連接的多個通孔；

在所述多個通孔中的每一個處形成犧牲電極和連接電極；以及

在所述第二氧化物膜的上部形成具有多個空氣通道的固定電極。

9.根據權利要求8所述的方法，其中形成犧牲電極和連接電極的步驟包括：

形成犧牲電極，以在與所述振動電極的兩個端部相對應的位置處貫通所述第二氧化物膜；以及

形成與所述振動電極的上表面的一側接觸的連接電極。

10.根據權利要求8所述的方法，其中形成背板的步驟包括：

在所述第二氧化物膜和所述固定電極的上部形成具有多個通孔的背板；

在形成于所述背板的多個通孔的外側形成與所述固定電極和所述連接電極的上表面相對應的電極通道；以及

在所述電極通道處形成與所述固定電極和所述連接電極接觸的電極極板。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述多個通孔形成在與所述固定電極的空氣通道相對應的位置處。

12.根據權利要求6所述的方法，還包括以下步驟：在形成背板之后，

形成貫通所述基底的音頻孔；

去除第一氧化物膜和第二氧化物膜的一部分；以及

去除形成在所述振動電極的兩個端部處以貫通所述第二氧化物膜的連接電極。

13.根據權利要求12所述的方法，其中去除第一氧化物膜的一部分包括去除與所述連接電極的外側表面相對應的中心部分。

14.根據權利要求12所述的方法，其中去除第二氧化物膜的一部分包括去除中心部分，除了與所述振動電極的上部相對應的所述第二氧化物膜中的沿著所述振動電極的上表面邊緣的預定段。