[發(fā)明專利]一種LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710073339.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN106591803B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁波;陳瀚;李軼;侯金松;徐偉濤;張文亮;杭海燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微世半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 31307
• 代理人: 張堅(jiān)

1.一種LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置，包括套筒法蘭組件和盤管法蘭組件，套筒法蘭組件包括筒體、設(shè)于筒體一端的出氣口、設(shè)于筒體一側(cè)的進(jìn)氣口，盤管法蘭組件包括法蘭盤，設(shè)于法蘭盤上的冷卻水進(jìn)、出口，其特征在于：所述套筒法蘭組件還包括軸向設(shè)于筒體內(nèi)且一端與出氣口相連通的導(dǎo)流管，所述盤管法蘭組件還包括分別與冷卻水進(jìn)、出口相連通的冷卻水盤管，法蘭盤與筒體另一端相對(duì)接密封，所述導(dǎo)流管套設(shè)于所述冷卻水盤管上；所述冷卻水進(jìn)口連通有一沿冷卻水盤管整體軸向設(shè)置的進(jìn)水管，冷卻水進(jìn)口通過(guò)進(jìn)水管另一端與冷卻水盤管相連通；所述冷卻水盤管與進(jìn)水管之間還設(shè)有冷凝機(jī)構(gòu)；所述冷凝機(jī)構(gòu)包括依次排列的數(shù)層漏斗狀冷凝片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置，其特征在于：所述冷卻水盤管盤成整體與導(dǎo)流管同軸的管狀結(jié)構(gòu)，且與導(dǎo)流管之間存在間隙。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置，其特征在于：所述冷凝片上開有冷凝孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣口與出氣口分別與LPCVD系統(tǒng)反應(yīng)室和真空泵相連通。