[發(fā)明專利]卡盤工作臺機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710070775.X
• 申請日: 2017-02-09
• 公開（公告）號: CN107081855B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設計）人: 植山博光
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

提供一種卡盤工作臺機構，簡化密封環(huán)的更換作業(yè)而縮短維護時間。卡盤工作臺機構(50)具有：卡盤工作臺(51)，其對被加工物(W)進行吸引保持；旋轉部(81)，其具有工作臺安裝面(82)；圓筒形狀的固定軸(71)，其配設于卡盤工作臺的旋轉中心；以及旋轉電動機(94)，其使旋轉部在固定軸的周圍旋轉。在旋轉部上以自由裝拆的方式安裝有覆蓋固定軸的上端的環(huán)狀的密封板(91)，在固定軸的上端形成有供密封環(huán)(75)安裝的圓環(huán)形狀的槽(73)。通過在旋轉部上安裝密封板而對密封板與固定軸的間隙進行密封，從而抑制固定軸內的空氣的泄漏，通過將密封板從旋轉部拆下，簡化了密封環(huán)的更換作業(yè)。

技術領域

本發(fā)明涉及在加工裝置中對被加工物進行保持的卡盤工作臺機構。

背景技術

半導體晶片等被加工物的正面被格子狀的間隔道劃分成多個區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域內形成有IC、LSI等器件。在器件制造工序中，通過將被加工物沿著間隔道切斷而形成各個器件芯片。該被加工物的分割是通過切削裝置或激光加工裝置等加工裝置來實施的。在各加工裝置中設置有對被加工物進行吸引保持的卡盤工作臺機構。在卡盤工作臺機構中，卡盤工作臺以能夠旋轉且能夠吸引的方式經(jīng)由旋轉連接而安裝在固定軸上(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2010-089234號公報

在專利文獻1所記載的卡盤工作臺機構的旋轉連接中，通常，為了防止吸引力的泄漏而在卡盤工作臺的可動軸(旋轉部)的內側面與固定軸的外側面之間配設密封環(huán)。由于密封環(huán)隨著卡盤工作臺的旋轉而在可動軸或固定軸上滑動，所以因老化損壞而需要定期的更換。在該情況下，如果不將卡盤工作臺的可動軸從固定軸拆下，則不能更換密封環(huán)，存在密封環(huán)的更換作業(yè)繁瑣且需要長時間的維護的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明是鑒于該點而完成的，其目的在于提供卡盤工作臺機構，能夠簡化密封環(huán)的更換作業(yè)而縮短維護時間。

本發(fā)明的卡盤工作臺機構具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行吸引保持；以及旋轉單元，在該旋轉單元的上部安裝該卡盤工作臺，并且該旋轉單元將該卡盤工作臺支承為能夠旋轉，該卡盤工作臺機構的特征在于，該旋轉單元具有：圓筒形狀的固定軸，其配設于旋轉中心并在內部形成有流體路徑；旋轉部，其配設成能夠圍繞該固定軸的外周而旋轉，在該旋轉部的上部具有供卡盤工作臺安裝的環(huán)狀的安裝面；以及旋轉電動機，其使該旋轉部旋轉，在該旋轉部上以自由裝拆的方式具有環(huán)狀的密封板，該密封板覆蓋該固定軸的上端并橫跨至該旋轉部的上表面而形成，該密封板的上表面是該卡盤工作臺的安裝面，在該固定軸的該上端形成有圓環(huán)形狀的槽，在該槽內安裝有密封環(huán)，將該密封板安裝在該旋轉部的上表面上并利用該密封板將該密封環(huán)按壓在該固定軸的上端的該槽中而進行密封。

根據(jù)該結構，旋轉部能夠以圓筒形狀的固定軸為旋轉中心進行旋轉，對固定軸的上端進行覆蓋的密封板以自由裝拆的方式安裝在旋轉部上。在旋轉部和密封板的上表面安裝有卡盤工作臺，通過固定軸的旋轉中心的流體路徑來對卡盤工作臺施加吸引力，并且使卡盤工作臺以固定軸為旋轉中心進行旋轉。并且，在形成于固定軸的上端的圓環(huán)形狀的槽內安裝有密封環(huán)，利用密封環(huán)對密封板與固定軸之間進行密封。在該情況下，將卡盤工作臺從旋轉部和密封板的上表面拆下，并將密封板從旋轉部拆下，由此，使固定軸的上端的密封環(huán)露出于外部。因此，能夠通過將卡盤工作臺、密封板拆下的簡單的作業(yè)來容易地從上方對密封環(huán)進行更換，能夠大幅縮短維護時間。

根據(jù)本發(fā)明，由于能夠通過將卡盤工作臺、密封板拆下的簡單的作業(yè)來容易地從上方對密封環(huán)進行更換，所以能夠大幅縮短密封環(huán)的更換作業(yè)所需的維護時間。

附圖說明

圖1是本實施方式的切削裝置的立體圖。

圖2是比較例的卡盤工作臺機構的剖視示意圖。

圖3是本實施方式的卡盤工作臺機構的剖視示意圖。

圖4的(A)、(B)和(C)是本實施方式的密封環(huán)的更換作業(yè)的說明圖。