[發明專利]卡盤工作臺機構有效
| 申請號： | 201710070775.X | 申請日： | 2017-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN107081855B | 公開（公告）日： | 2020-06-19 |
| 發明（設計）人： | 植山博光 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;B28D7/04;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 卡盤 工作臺 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種卡盤工作臺機構，其具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行吸引保持；以及旋轉單元，在該旋轉單元的上部安裝該卡盤工作臺，并且該旋轉單元將該卡盤工作臺支承為能夠旋轉，該卡盤工作臺機構的特征在于，
該旋轉單元具有：
圓筒形狀的固定軸，其配設于旋轉中心并在內部形成有流體路徑；
旋轉部，其配設成能夠圍繞該固定軸的外周而旋轉，在該旋轉部的上部具有供卡盤工作臺安裝的環狀的工作臺安裝面；以及
旋轉電動機，其使該旋轉部旋轉，
在該旋轉部的上表面的徑向內側形成有比該工作臺安裝面低1級的板安裝面，
在該旋轉部的該板安裝面上以自由裝拆的方式安裝有環狀的密封板，該密封板的厚度同該工作臺安裝面與該板安裝面之間的階差一致，該密封板覆蓋該固定軸的上端并橫跨至該旋轉部的上表面的徑向內側，該密封板的上表面與該工作臺安裝面形成為同一水平面，該密封板的上表面也成為該工作臺安裝面，
在該固定軸的該上端形成有圓環形狀的槽，在該槽內安裝有密封環，
將該密封板安裝在該旋轉部的上表面上并利用該密封板將該密封環按壓在該固定軸的上端的該槽中而進行密封。
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