[發明專利]一種LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法

有效

• 申請號: 201710070731.7
• 申請日: 2017-02-09
• 公開（公告）號: CN106862114B
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 王占山;焦宏飛;鈕信尚;何宇;鮑剛華;馬彬;張錦龍;程鑫彬
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 翁惠瑜

1.一種LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，將LBO晶體依次執行下述步驟：

1)采用無水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶體表面；

2)采用弱堿性溶液對LBO晶體進行超聲波清洗，所述弱堿性溶液包括NH₄OH和H₂O₂，體積比為NH₄OH：H₂O₂：H₂O＝1:8:50；

3)采用無水乙醇對LBO晶體進行漂洗；

4)將LBO晶體放置于裝有無水乙醇的密閉容器內，對LBO晶體進行超聲加熱清洗；

5)取出LBO晶體，采用無水乙醇對LBO晶體進行漂洗；

6)在正壓容器環境中利用干燥氮氣風刀對LBO晶體進行干燥。

2.根據權利要求1所述的LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，所述弱堿性溶液由去離子水、雙氧水和氨水配制而成，配制的先后順序為：去離子水、雙氧水和氨水。

3.根據權利要求1所述的LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，所述步驟2)中，進行超聲波清洗時，弱堿性溶液的溫度為25攝氏度，在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz頻率下先后分別超聲2～4分鐘。

4.根據權利要求1所述的LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，所述步驟3)中，進行漂洗時，無水乙醇的溫度為25攝氏度。

5.根據權利要求1所述的LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，所述步驟4)中，超聲加熱清洗具體為：

對所述密閉容器進行水浴加熱，加熱溫度為60攝氏度，在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz頻率下先后分別超聲3～6分鐘。

6.根據權利要求1所述的LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法，其特征在于，所述步驟6)中，正壓容器環境為具有正壓的氮氣密閉容器。