[發(fā)明專利]鋁膜工藝方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710068667.9
• 申請日: 2017-02-08
• 公開（公告）號: CN106847669B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/033
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種鋁膜工藝方法，適用于厚度不低于12000?的鋁膜，其特征在于：去除金屬膜時(shí)去掉聚合物，再用濕法刻蝕加干法刻蝕將剩余聚合物完全去除；

去除金屬膜采用氧氣流和水剝離的方法；

去除金屬膜時(shí)溫度控制在230～270℃；

氧氣流使用工藝參數(shù)為：壓力2Torr,射頻功率0W，氧氣流量4000sccm，時(shí)間為20s；水剝離使用工藝參數(shù)為：壓力2Torr，射頻功率1400w，水蒸氣流量500sccm，時(shí)間為60s。