[發明專利]豎直插入式阻擋腳及伯努利吸盤

有效

• 申請號: 201710062833.4
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN108346607B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 劉源;林洋
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種豎直插入式阻擋腳，其特征在于，所述豎直插入式阻擋腳包括：

支撐盤，所述支撐盤內沿其厚度方向設有通孔，所述通孔包括第一部分及位于所述第一部分下方且與所述第一部分相連通的第二部分；

阻擋腳，適于插入至所述支撐盤的所述通孔內，所述阻擋腳包括支撐部及位于所述支撐部下方且與所述支撐部的底部相連接的阻擋部；所述支撐部的寬度大于所述通孔第二部分的寬度且小于或等于所述通孔第一部分的寬度；所述阻擋部的寬度小于或等于所述通孔第二部分的寬度，且所述阻擋部沿所述支撐盤厚度方向的尺寸大于所述通孔第二部分沿所述支撐盤厚度方向的高度；所述通孔第一部分與所述通孔第二部分接觸的表面為傾斜面，所述傾斜面自所述通孔第二部分的邊緣至所述通孔第一部分的邊緣向下傾斜。

2.根據權利要求1所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述傾斜面相對于所述支撐盤表面的傾斜角度為5°～8°。

3.根據權利要求1所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述阻擋部的側面為弧形面。

4.根據權利要求3所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述弧形面的弧度與晶圓邊緣的弧度相同。

5.根據權利要求1所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述阻擋腳還包括過渡連接部，所述過渡連接部位于所述支撐部與所述阻擋部之間，且所述阻擋部經由所述過渡連接部與所述支撐部相連接。

6.根據權利要求1所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述支撐盤及所述阻擋腳的材料均為石英。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述阻擋部的表面涂覆有含有結晶水的氫氧化鋇涂層。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的豎直插入式阻擋腳，其特征在于：所述阻擋部的表面涂覆有硅酸鋇涂層。

9.一種伯努利吸盤，包括吸附盤，所述吸附盤內設有氣體管路，所述吸附盤的表面設有出氣孔，所述出氣孔與所述氣體管路相連通，其特征在于，

所述伯努利吸盤還包括如權利要求1至8中任一項所述的豎直插入式阻擋腳，所述支撐盤固定于所述吸附盤的上表面，所述阻擋腳位于所述支撐盤的外側，且所述阻擋部沿所述支撐盤厚度方向的尺寸大于所述通孔第二部分的深度與所述吸附盤的厚度之和。

10.根據權利要求9所述的伯努利吸盤，其特征在于：所述氣體管路包括主管路及與所述主管路內部相連通的支管路；所述豎直插入式阻擋腳的數量為兩個，兩個所述豎直插入式阻擋腳對稱地分布于所述主管路的兩側，且所述支撐盤的中心與所述吸附盤的中心的連線與所述主管路的夾角為30°～60°。

11.根據權利要求9所述的伯努利吸盤，其特征在于：所述吸附盤為石英吸附盤。