[發明專利]懸臂裝置、檢查裝置、分析表面的方法和微圖案形成方法

有效

• 申請號: 201710061606.X
• 申請日: 2017-01-26
• 公開（公告）號: CN107064564B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 李京美;樸貞珠;李時鏞;金垠成;權承哲;金尚郁;崔榮珠
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;韓國科學技術院
• 主分類號: G01Q60/38
• 分類號: G01Q60/38;H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 屈玉華

1.一種基板表面檢查裝置，包括：

能夠容納基板的支撐物；

具有懸臂和探針尖端的測量單元，所述探針尖端在所述懸臂的端部并且能夠接觸所述基板；

能夠改變所述基板和所述探針尖端的相對位置的驅動單元；

能夠輻照光到所述懸臂上的光源單元；

能夠由被所述懸臂反射的光而獲得所述基板的表面的信息的傳感器；和

確定單元，由被所述傳感器感測的所述基板的所述表面的所述信息而確定所述基板的所述表面是否正常，

其中所述探針尖端包括用聚合物改性的探針尖端基底，以使所述探針尖端基底的用聚合物改性的一部分形成探針尖端的頂端，

其中：

所述聚合物經由插入的連接體鍵合到所述探針尖端基底，并且所述連接體通過酯基或醚基連接到所述聚合物，或者

所述聚合物是雙嵌段共聚物，并且所述雙嵌段共聚物的在對所述探針尖端的鍵合側的嵌段具有恒定長度，或者

所述聚合物包括鍵合到所述探針尖端的兩種均聚物，第一均聚物是親水性的，所述第一均聚物是所述兩個均聚物中的一種，和第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述兩個均聚物中的另一種。

2.如權利要求1所述的基板表面檢查裝置，其中所述確定單元配置為計算所述基板的所述表面與所述探針尖端之間的粘附功并通過比較所獲得的粘附功與參考值來確定所述基板的所述表面是否正常。

3.如權利要求2所述的基板表面檢查裝置，其中：

所述粘附功由所述基板的所述表面與所述探針尖端之間的表面能計算，和

所述表面能通過所述探針尖端與所述基板的所述表面之間的相互作用被確定。

4.如權利要求3所述的基板表面檢查裝置，其中所述基板是在其表面上具有釘扎圖案和中性圖案層的半導體基板。

5.如權利要求1所述的基板表面檢查裝置，其中所述探針尖端通過至少部分地涂覆所述聚合物到所述探針尖端基底上而被改性。

6.一種用于原子力顯微鏡(AFM)的懸臂裝置，所述懸臂裝置包括：

支承構架；

固定到所述支承構架的懸臂；和

提供到所述懸臂的端部的探針尖端，

其中所述探針尖端具有探針尖端基底，所述探針尖端基底至少部分地用聚合物改性，以使所述探針尖端基底的用聚合物改性的一部分形成探針尖端的頂端，

其中：

所述聚合物經由插入的連接體鍵合到所述探針尖端基底，并且所述連接體通過酯基或醚基連接到所述聚合物，或者

所述聚合物是雙嵌段共聚物，并且所述雙嵌段共聚物的在對所述探針尖端的鍵合側的嵌段具有恒定長度，或者

所述聚合物包括鍵合到所述探針尖端的兩種均聚物，第一均聚物是親水性的，所述第一均聚物是所述兩個均聚物中的一種，和第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述兩個均聚物中的另一種。

7.一種用于原子力顯微鏡(AFM)的探針尖端，所述探針尖端包括：

探針尖端基底；和

在所述探針尖端基底的表面的至少一部分上的聚合物，

其中：

所述聚合物經由插入的連接體鍵合到所述探針尖端，和

所述連接體通過酯基或醚基連接到所述聚合物，

其中：

所述聚合物是雙嵌段共聚物，和

所述雙嵌段共聚物的在對所述探針尖端的鍵合側的嵌段具有恒定長度，或者

其中：

所述聚合物包括鍵合到所述探針尖端的兩種均聚物，

第一均聚物是親水性的，所述第一均聚物是所述兩個均聚物中的一種，和

第二均聚物是疏水性的，所述第二均聚物是所述兩個均聚物中的另一種。

8.如權利要求7所述的探針尖端，其中所述探針尖端通過至少部分地涂覆所述聚合物到所述探針尖端上而被改性。

9.如權利要求7所述的探針尖端，其中所述探針尖端通過共價鍵鍵合到所述聚合物。