[發(fā)明專利]監(jiān)視裝置以及真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710060781.7
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN107304773B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D27/00
• 分類號: F04D27/00;F04D19/04;F04D29/58
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供一種能夠提高維護(hù)時期的推斷精度的監(jiān)視裝置以及真空泵。監(jiān)視裝置(100)包括：推斷部(105)，基于由基座溫度傳感器(6)隨著時間檢測出的多個基座溫度(Tb)，推斷出基座溫度(Tb)達(dá)到作為閾值的規(guī)定溫度(T2)的維護(hù)時期；以及顯示部(104)及輸出部(108)，輸出基于推斷出的所述時期的維護(hù)信息。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種監(jiān)視裝置以及真空泵。

背景技術(shù)

渦輪分子泵被用作各種半導(dǎo)體制造裝置的排氣泵，但若在蝕刻工序(etchingprocess)等中進(jìn)行排氣，則反應(yīng)生成物會堆積在泵內(nèi)部。特別是容易堆積于泵下游側(cè)的氣體流路，轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙越是被堆積物填埋，則越會堆積反應(yīng)生成物，從而會產(chǎn)生各種故障。例如，轉(zhuǎn)子粘著于定子而導(dǎo)致轉(zhuǎn)子無法旋轉(zhuǎn)，或轉(zhuǎn)子葉片與定子側(cè)接觸而破損。針對如上所述的反應(yīng)堆積物，在專利文獻(xiàn)1所記載的發(fā)明中記載了如下方法，即，基于馬達(dá)電流值的經(jīng)時變化來預(yù)測泵內(nèi)的堆積。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]國際專利公開第2013/161399號

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

但是，對于專利文獻(xiàn)1所記載的發(fā)明，因為基于馬達(dá)電流值的變化來預(yù)測堆積物，所以若預(yù)先不了解氣體種類則不準(zhǔn)確，且難以進(jìn)行長期的預(yù)測。例如，相對于使氬氣作為蝕刻氣體的稀釋氣體而流動的情況，在增加氙氣的混合比而使其流動的情況下，熱傳導(dǎo)率低，轉(zhuǎn)子溫度容易上升。因此，在增加了混合比的情況下，考慮到轉(zhuǎn)子蠕變壽命，必須減少氣體流量。另一方面，即使氣體種類不同，只要?dú)怏w流量相同，則馬達(dá)電流值不會大幅發(fā)生變化，因此，氣體流量減少，馬達(dá)電流值也會相應(yīng)地減小。此種現(xiàn)象不僅適用于稀釋氣體，而且也適用于蝕刻氣體，在將蝕刻氣體從輕的氯系變更為重的溴系的情況下也相同。因此，在考慮了轉(zhuǎn)子蠕變壽命的情況下，若預(yù)先無氣體種類信息，則難以預(yù)測堆積。

而且，馬達(dá)電流值會靈敏地對真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)作出響應(yīng)，因此，像專利文獻(xiàn)1的發(fā)明那樣基于馬達(dá)電流值來預(yù)測生成物堆積的方法存在預(yù)測精度下降的問題。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的監(jiān)視裝置是真空泵的監(jiān)視裝置，所述真空泵包括：馬達(dá)，相對于設(shè)置于泵基底部的定子而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動轉(zhuǎn)子；加熱部，對所述泵基底部進(jìn)行加熱；基座溫度檢測部，檢測所述泵基底部的溫度；轉(zhuǎn)子溫度檢測部，檢測相當(dāng)于所述轉(zhuǎn)子的溫度的物理量即溫度相當(dāng)量；以及加熱控制部，以使所述轉(zhuǎn)子溫度檢測部的檢測值處于規(guī)定目標(biāo)值范圍內(nèi)的方式，控制所述加熱部對于所述泵基底部的加熱，所述監(jiān)視裝置包括：推斷部，基于由所述基座溫度檢測部隨著時間檢測出的多個溫度，推斷出所述泵基底部的溫度為規(guī)定溫度以下的維護(hù)(maintenance)時期；以及輸出部，輸出基于推斷出的所述維護(hù)時期的維護(hù)信息。

在更優(yōu)選的實施方式中，所述真空泵具有檢測所述轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速檢測部、與檢測所述馬達(dá)的馬達(dá)電流值的電流檢測部，且包括判定部，所述判定部基于所述轉(zhuǎn)速的時間變化及所述馬達(dá)電流值，判定所述真空泵是否處于氣體流入狀態(tài)，所述推斷部在所述判定部判定為處于氣體流入狀態(tài)時，基于所述基座溫度檢測部所檢測出的溫度來進(jìn)行推斷。

在更優(yōu)選的實施方式中，包括存儲部，所述存儲部對于由所述基座溫度檢測部隨著時間檢測出的多個溫度，將包含溫度與所述溫度的檢測時刻的各個數(shù)據(jù)集存儲于數(shù)據(jù)存儲區(qū)域，所述推斷部基于所述存儲部所存儲的多個所述數(shù)據(jù)集來進(jìn)行推斷。

在更優(yōu)選的實施方式中，包括數(shù)據(jù)處理部，所述數(shù)據(jù)處理部對于所述存儲部所存儲的所述數(shù)據(jù)集，對所述檢測時刻更新的數(shù)據(jù)集添加更大的權(quán)重，所述推斷部基于由所述數(shù)據(jù)處理部添加了所述權(quán)重的數(shù)據(jù)集來進(jìn)行推斷。

在更優(yōu)選的實施方式中，所述數(shù)據(jù)處理部進(jìn)行使所述存儲部所存儲的多個數(shù)據(jù)集的數(shù)量減少的平均化處理，并且使新的數(shù)據(jù)集存儲于由所述平均化處理產(chǎn)生的所述數(shù)據(jù)存儲區(qū)域的空閑區(qū)域。