[發明專利]監視裝置以及真空泵有效
| 申請號： | 201710060781.7 | 申請日： | 2017-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN107304773B | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | 小崎純一郎 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | F04D27/00 | 分類號： | F04D27/00;F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 監視 裝置 以及 真空泵 | ||
1.一種監視裝置，其是真空泵的監視裝置，其特征在于所述真空泵包括：
馬達，相對于設置于泵基底部的定子而旋轉驅動轉子；
加熱部，對所述泵基底部進行加熱；
基座溫度檢測部，檢測所述泵基底部的溫度；
轉子溫度檢測部，檢測相當于所述轉子的溫度的物理量的溫度相當量；以及
加熱控制部，以使所述轉子溫度檢測部的檢測值處于規定目標值范圍內的方式，控制所述加熱部對于所述泵基底部的加熱，
所述監視裝置包括：
推斷部，基于由所述基座溫度檢測部隨著時間檢測出的多個溫度，推斷出所述泵基底部的溫度為規定溫度以下的維護時期；以及
輸出部，輸出基于推斷出的所述維護時期的維護信息；
所述真空泵具有檢測所述轉子的轉速的轉速檢測部、與檢測所述馬達的馬達電流值的電流檢測部，且包括判定部，
所述判定部基于所述轉速的時間變化及所述馬達電流值，判定所述真空泵是否處于氣體流入狀態，
所述推斷部在所述判定部判定為處于氣體流入狀態時，基于所述基座溫度檢測部所檢測出的溫度來進行推斷。
2.一種監視裝置，其是真空泵的監視裝置，其特征在于所述真空泵包括：
馬達，相對于設置于泵基底部的定子而旋轉驅動轉子；
加熱部，對所述泵基底部進行加熱；
基座溫度檢測部，檢測所述泵基底部的溫度；
轉子溫度檢測部，檢測相當于所述轉子的溫度的物理量的溫度相當量；以及
加熱控制部，以使所述轉子溫度檢測部的檢測值處于規定目標值范圍內的方式，控制所述加熱部對于所述泵基底部的加熱，
所述監視裝置包括：
推斷部，基于由所述基座溫度檢測部隨著時間檢測出的多個溫度，推斷出所述泵基底部的溫度為規定溫度以下的維護時期；
輸出部，輸出基于推斷出的所述維護時期的維護信息；以及
存儲部，所述存儲部對于由所述基座溫度檢測部隨著時間檢測出的多個溫度，將包含溫度與所述溫度的檢測時刻的各個數據集存儲于數據存儲區域，
所述推斷部基于所述存儲部所存儲的多個所述數據集來進行推斷。
3.根據權利要求2所述的監視裝置，其特征在于：
包括數據處理部，所述數據處理部對于所述存儲部所存儲的所述數據集，對所述檢測時刻更新的數據集添加更大的權重，
所述推斷部基于由所述數據處理部添加了所述權重的數據集來進行推斷。
4.根據權利要求3所述的監視裝置，其特征在于：
所述數據處理部進行使所述存儲部所存儲的多個數據集的數量減少的平均化處理，并且使新的數據集存儲于由所述平均化處理產生的所述數據存儲區域的空閑區域。
5.一種真空泵，其特征在于包括：
馬達，相對于設置于泵基底部的定子而旋轉驅動轉子；
加熱部，對所述泵基底部進行加熱；
基座溫度檢測部，檢測所述泵基底部的溫度；
轉子溫度檢測部，檢測相當于所述轉子的溫度的物理量的溫度相當量；以及
根據權利要求1至4中任一項所述的監視裝置。
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