[發(fā)明專利]載臺(tái)及使用該載臺(tái)的晶圓殘膠清潔裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710060028.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-24
• 公開（公告）號(hào): CN107369634B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭偉呈
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 萬潤科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66;H01L21/683;H01L21/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 喻學(xué)兵

1.一種載臺(tái)，包括：

一固定座；

一載盤，設(shè)于固定座上，可受驅(qū)動(dòng)而作旋轉(zhuǎn)；

一固定架，設(shè)于載盤上并受載盤連動(dòng)；

一定位盤，設(shè)于該固定架上并受固定架連動(dòng)，定位盤上表面設(shè)有氣孔，該氣孔中通有負(fù)壓可對(duì)定位盤上承載物進(jìn)行吸附；

其中，該載盤上設(shè)有一荷重量測元件。

2.如權(quán)利要求1所述載臺(tái)，其特征在于，該載盤周緣設(shè)有多個(gè)支撐架，該固定架以向外延伸凸設(shè)的架腳分別各座設(shè)于該載盤的支撐架上。

3.如權(quán)利要求1所述載臺(tái)，其特征在于，該載盤上以呈九十度角方位分別各設(shè)有二定位件。

4.如權(quán)利要求3所述載臺(tái)，其特征在于，該固定架上以四架腳互呈九十度分叉設(shè)置，并使每二架腳間形成凹設(shè)的定位區(qū)間，二相鄰的定位區(qū)間恰被該二定位件所嵌靠定位。

5.如權(quán)利要求1所述載臺(tái)，其特征在于，該固定座設(shè)于一軌座上，受該軌座上軌座驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)可作直線位移。

6.如權(quán)利要求1所述載臺(tái)，其特征在于，該定位盤下設(shè)有加熱元件。

7.如權(quán)利要求1所述載臺(tái)，其特征在于，該定位盤上表面設(shè)有環(huán)形的多個(gè)環(huán)相隔間距的同心凹溝，以及互呈九十度交叉設(shè)置的直線凹溝，該氣孔設(shè)于凹溝與凹溝交叉處。

8.一種晶圓殘膠清潔裝置，使用如權(quán)利要求1至7中任一所述載臺(tái)，包括：

一機(jī)臺(tái)，設(shè)有該載臺(tái)，待施作工件的晶圓設(shè)于載臺(tái)上；

一檢測機(jī)構(gòu)可對(duì)待施作工件上管芯檢視其殘膠狀況；

一擦拭機(jī)構(gòu)，其設(shè)有拭材，可對(duì)被檢出有殘膠的單獨(dú)個(gè)別管芯逐一進(jìn)行擦拭。

9.一種晶圓殘膠清潔裝置，使用如權(quán)利要求1至7中任一所述載臺(tái)，包括：

一機(jī)臺(tái)，具有一機(jī)臺(tái)臺(tái)面，機(jī)臺(tái)臺(tái)面上設(shè)有一移載區(qū)間；

一龍門軌架，將機(jī)臺(tái)分隔出一第一工作區(qū)，以及一第二工作區(qū)；

一檢測機(jī)構(gòu)，設(shè)于朝第一工作區(qū)的該龍門軌架一側(cè)，對(duì)第一工作區(qū)中的待施作工件進(jìn)行檢視；

一取放機(jī)構(gòu)，設(shè)于機(jī)臺(tái)該第一工作區(qū)，包括相隔間距設(shè)置的二夾座；

一擦拭機(jī)構(gòu)，設(shè)于朝第二工作區(qū)的該龍門軌架一側(cè)，設(shè)有一壓抵座架及一拭材組件；該壓抵座架設(shè)有一第一壓抵組件，該拭材組件提供一拭材繞經(jīng)其上；

該載臺(tái)設(shè)于機(jī)臺(tái)該第二工作區(qū)，可受驅(qū)動(dòng)而位移于第一工作區(qū)、第二工作區(qū)間，并自取放機(jī)構(gòu)承接待施作工件或?qū)⒋┳鞴ぜ桓度》艡C(jī)構(gòu)；

該第一壓抵組件可受驅(qū)動(dòng)壓抵拭材對(duì)載臺(tái)上的待施作工件進(jìn)行殘膠清潔。