[發明專利]防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法

在審

• 申請號: 201710057898.X
• 申請日: 2017-01-23
• 公開（公告）號: CN108342693A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 呂兆輝
• 申請（專利權）人: 南京高光半導體材料有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 郭云梅

本發明涉及蒸鍍材料的蒸發技術領域，具體涉及一種防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法。包括如下步驟：步驟一、將蒸鍍材料加入至蒸發源坩堝內；步驟二、向蒸發源坩堝內的蒸鍍材料中加入立體狀的導熱物；其中，所述導熱物與蒸發源坩堝內蒸鍍材料的體積比為1：1～5；所述導熱物的熔點高于所述蒸鍍材料的蒸發或升華溫度。本發明通過向蒸發源坩堝內的蒸鍍材料中加入立體狀的導熱物，有效提高了蒸鍍材料間的導熱性，使得蒸鍍材料能夠受熱均勻，方法簡單、易于實現，有效解決了目前蒸發源坩堝內材料受熱不均導致的材料劣化問題。

技術領域

本發明涉及蒸鍍材料的蒸發技術領域，具體涉及一種防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法。

背景技術

目前真空蒸鍍設備蒸發源坩堝容量逐漸提升，由于蒸鍍材料導熱性差的問題，蒸鍍材料與坩堝內壁接觸部分溫度遠高于材料的蒸發溫度，導致與坩堝內壁接觸的蒸鍍材料在受熱過程中存在分解、變質等劣化問題，此影響隨著坩堝容量的增加而更加明顯。

現有技術中，為防止蒸鍍材料在受熱過程中劣化，通常采用如下兩種方案：

方案一、隨著材料的減少隨時向坩堝內補充材料來進行蒸鍍作業，這種方案需要頻繁地進行破真空、補料、抽真空等操作，操控不方便，不利于蒸鍍作業的穩定運行，對于大容量坩堝更加不適合；

方案二、通過將顆粒狀的蒸發材料推壓在加熱構件上進行局部加熱，使材料僅被局部加熱并蒸發或升華，來防止其他部位的材料發生劣化，此方案需要用于使蒸鍍材料形成顆粒狀的設備、以及將顆粒狀蒸鍍材料推壓在加熱源上的加壓裝置，會導致設備成本增加。

綜上，有必要提供一種適用于大容量坩堝、且簡單易行的坩堝蒸發技術。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明的目的在于提供一種能夠使蒸鍍材料均勻受熱、且操控方便易于實現的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法。

為實現上述技術目的，本發明采用以下的技術方案：

防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，包括如下步驟：

步驟一、將蒸鍍材料加入至蒸發源坩堝內；

步驟二、向蒸發源坩堝內的蒸鍍材料中加入立體狀的導熱物；

其中，所述導熱物與蒸發源坩堝內蒸鍍材料的體積比為1：1～5；所述導熱物的熔點高于所述蒸鍍材料的蒸發或升華溫度。

作為優選，所述導熱物為球狀、柱狀或球柱組合狀的結構，當然也可以采用其他體狀。

作為優選，所述導熱物的材質為金屬、玻璃、石墨、陶瓷、三氧化二鋁或氮化硼等。

作為優選，步驟二中，向蒸發源坩堝內加入的導熱物的形狀為統一形狀、統一材質，也可以為不同形狀、統一材質或不同形狀、不同材質，也就是說，導熱物可以是統一形狀、大小及材質，也可以是以上幾種的任意組合。

由于采用上述技術方案，本發明具有至少以下有益效果：通過向蒸發源坩堝內的蒸鍍材料中加入立體狀的導熱物，有效提高了蒸鍍材料間的導熱性，使得蒸鍍材料能夠受熱均勻，方法簡單、易于實現，有效解決了目前蒸發源坩堝內材料受熱不均導致的材料劣化問題。

附圖說明

以下附圖僅旨在于對本發明做示意性說明和解釋，并不限定本發明的范圍。其中：

圖1是本發明實施例一蒸鍍時的剖面結構示意圖；

圖2是本發明實施例二的其中之一種導熱物的結構示意圖；

圖3是本發明實施例二的另一種導熱物的結構示意圖。

圖中：1-蒸鍍材料；2-蒸發源坩堝；3-導熱物；31-球；32-柱。

具體實施方式