[發明專利]防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法在審
| 申請號： | 201710057898.X | 申請日： | 2017-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN108342693A | 公開（公告）日： | 2018-07-31 |
| 發明（設計）人： | 呂兆輝 | 申請（專利權）人： | 南京高光半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸鍍材料 蒸發源坩堝 導熱物 劣化 立體狀 導熱性 熔點 受熱不均 受熱均勻 有效解決 蒸發技術 體積比 蒸發 升華 | ||
【權利要求書】：
1.防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：包括如下步驟：
步驟一、將蒸鍍材料(1)加入至蒸發源坩堝(2)內；
步驟二、向蒸發源坩堝(2)內的蒸鍍材料(1)中加入立體狀的導熱物(3)；
其中，所述導熱物(3)與蒸發源坩堝(2)內蒸鍍材料(1)的體積比為1：1～5；所述導熱物(3)的熔點高于所述蒸鍍材料(1)的蒸發或升華溫度。
2.如權利要求1所述的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：所述導熱物(3)為球狀、柱狀或球柱組合狀的結構。
3.如權利要求1所述的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：所述導熱物(3)的材質為金屬、玻璃、石墨、陶瓷、三氧化二鋁或氮化硼。
4.如權利要求1所述的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：步驟二中，向蒸發源坩堝(2)內加入的導熱物(3)的形狀為統一形狀、統一材質。
5.如權利要求1所述的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：步驟二中，向蒸發源坩堝(2)內加入的導熱物(3)的形狀為不同形狀、統一材質。
6.如權利要求1所述的防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法，其特征在于：步驟二中，向蒸發源坩堝(2)內加入的導熱物(3)的形狀為不同形狀、不同材質。
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