[發(fā)明專利]用于表面異物檢測的自動光學(xué)檢測系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN108303431A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林伯聰;陳延松
• 申請（專利權(quán)）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;張應(yīng)

一種用于表面異物檢測的自動光學(xué)檢測系統(tǒng)，用以檢測面板表面的異物分布，該自動光學(xué)檢測系統(tǒng)包括有一高指向性光源裝置、以及一影像擷取裝置。該高指向性光源裝置水平設(shè)置于該面板的一側(cè)，提供一高指向性光束，經(jīng)過該面板的上表面或下表面。該影像擷取裝置設(shè)置于該面板的一側(cè)，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，并將該面板影像傳送至一檢測裝置，借由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明有關(guān)于一種自動光學(xué)檢測系統(tǒng)，尤指一種用于表面異物檢測的自動光學(xué)檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

自動光學(xué)檢測(Automated Optical Inspection，AOI)，泛指運用機器視覺拍攝待測物的表面以對待測物進行檢測的技術(shù)。自動光學(xué)檢測的優(yōu)點在于改良傳統(tǒng)上以人力使用光學(xué)儀器進行檢測所造成的種種缺失(例如人眼檢測的不可靠性、以及檢測的效率)，除了瑕疵檢測外，自動光學(xué)檢查亦可應(yīng)用于國防、民生、醫(yī)療、環(huán)保、電力等相關(guān)領(lǐng)域。

目前于市場上，完整的面板制程，必須至少經(jīng)過以下幾種檢測：1.玻璃基板及彩色濾光片的檢測。2.面板(panel)、偏光片(polarization sheet)上的亮點、碎亮點檢測。3.不均勻(Mura)的檢測。4.數(shù)組電路工程中的瑕疵檢測。

其中，面板及偏光片上的亮點、碎亮點，為面板制程中常見的瑕疵。于偏光片或面板制作完成時，會先借由自動光學(xué)檢測系統(tǒng)(Automated Optical Inspection，AOI)對偏光片或面板的表面進行非接觸式的檢查。一般代表性的作法，是利用光學(xué)儀器取得成品的表面狀態(tài)，再以計算機圖像處理技術(shù)來檢出異物或圖案異常等瑕疵。這類的亮點、碎亮點的瑕疵影像，被檢測出時將會被自動的分類，并被標(biāo)示為待測點，以供后續(xù)的最終質(zhì)量管理人員(Final Quality Control，F(xiàn)QC)以人工目測的方式進行最后的判定。

現(xiàn)有有關(guān)于面板檢測的技術(shù)，針對這類的亮點、碎亮點，具有固定的檢測步驟，其檢測步驟如下：將待測面板輸送至檢測平臺，并提供上、下光源(即正光源、背光源)打光于該面板上借以顯示出偏光板、或面板上的瑕疵點，顯示出的瑕疵點借由攝像裝置拍攝后取得。所取得的瑕疵影像借由圖像處理器經(jīng)二值化處理后，將可以取得對應(yīng)的亮點、碎亮點。借由進一步定義前述亮點、及碎亮點的位置及坐標(biāo)，所述的瑕疵面板(亮點、碎亮點)可借由激光熔接法進行瑕疵補修，借以提升產(chǎn)品的良率。

但是，借由上、下光源所打出的瑕疵影像，除上述于制程中所產(chǎn)生的亮點、碎亮點外，尚有可能會顯示出附著于面板、偏光片上的異物(如灰塵、毛發(fā))，這類的異物將會導(dǎo)致于檢測過程中產(chǎn)生誤檢的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的，在于解決面板檢測中透過正面光源或背面光源檢測時，無法過濾表面異物導(dǎo)致檢測過程中產(chǎn)生誤檢的情況。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種用于表面異物檢測的自動光學(xué)檢測系統(tǒng)，用以檢測面板表面的異物分布，該自動光學(xué)檢測系統(tǒng)包括一高指向性光源裝置、以及一影像擷取裝置。該高指向性光源裝置水平設(shè)置于該面板的一側(cè)，提供一高指向性光束，經(jīng)過該面板的上表面或下表面。該影像擷取裝置設(shè)置于該面板的一側(cè)，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，并將該面板影像傳送至一檢測裝置，借由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。

本發(fā)明可用于面板瑕疵的確認(rèn)測試，通過將高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸顯面板表面上的異物。通過將本發(fā)明高指向性光源所獲得的面板影像與提供背光源所獲得的影像進行比對，可濾除正光源或背光源所獲得的面板影像中異物噪聲的部分，進而得到面板確實的瑕疵影像，以提升面板的檢測正確率。

附圖說明

圖1，為本發(fā)明自動光學(xué)檢測系統(tǒng)的方塊示意圖。

圖2，為本發(fā)明自動光學(xué)檢測系統(tǒng)的側(cè)面示意圖。

圖3，為瑕疵分布影像的生成示意圖。