[發明專利]用于表面異物檢測的自動光學檢測系統

在審

• 申請號: 201710054592.9
• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN108303431A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 林伯聰;陳延松
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;張應

1.一種用于表面異物檢測的自動光學檢測系統，用以檢測面板表面的異物分布，其特征在于，該自動光學檢測系統包括：

一高指向性光源裝置，水平設置于該面板的一側，提供一高指向性光束，經過該面板的上表面或下表面；以及

一影像擷取裝置，設置于該面板的一側，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，并將該面板影像傳送至一檢測裝置，借由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。

2.如權利要求1所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器及一扇狀光束產生透鏡；其中該扇狀光束產生透鏡用以將點型光束進行擴束以形成一扇狀光束。

3.如權利要求2所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該扇狀光束對齊至該面板的該上表面或該下表面，借以照亮該面板的該上表面或該下表面，并由該影像擷取裝置拍攝該面板，以獲得該面板的表面影像。

4.如權利要求1所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器以及一設置于該點型光束發射器一側的樞轉裝置。

5.如權利要求4所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該點型光束發射器提供點型光束對準至該面板的該上表面或該下表面，其中該樞轉裝置帶動該點型光束發射器樞轉，借以將該點型光束沿該面板的該上表面或該下表面移動，并由該影像擷取裝置拍攝該面板，以獲得該面板的表面影像。

6.如權利要求1所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器以及一設置于該點型光束發射器一側的平移裝置。

7.如權利要求6所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該點型光束發射器提供點型光束，對準至該面板的該上表面或該下表面；其中該平移裝置帶動該點型光束發射器沿該面板的該上表面或該下表面移動，并由該影像擷取裝置拍攝該面板，以獲得該面板的整面影像。

8.如權利要求2至7中任一項所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該點型光束發射器為激光發射裝置或產生高指向性光束的發光二極管。

9.如權利要求1所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該影像擷取裝置垂直設置于該面板的上表面及/或下表面。

10.如權利要求1所述的自動光學檢測系統，其特征在于，該影像擷取裝置設置于該面板的上表面及/或下表面方向，并與該面板之間具有一傾斜角。