[發(fā)明專利]單晶硅片制絨預(yù)清洗液的添加劑及其應(yīng)用有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710048880.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-01-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106833954B | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王強(qiáng);符杰;張麗娟;陳培良 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C11D7/06 | 分類號(hào)： | C11D7/06;C11D7/26;C11D7/60;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 213300 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單晶硅 片制絨預(yù) 清洗 添加劑 及其 應(yīng)用 | ||
1.單晶硅片的制絨方法，其特征在于，其具體步驟包括：
1）配置添加劑：將質(zhì)量百分比為1%～20%的聚乙二醇、0.1%～2.0%的丙二醇丙醚、1.0%～5.0%的水解聚馬來(lái)酸酐加入到余量的水中，混合均勻配成單晶硅片制絨預(yù)清洗液的添加劑；
2）配置預(yù)清洗液：將步驟1）制成的添加劑加到堿溶液中，混合均勻配成單晶硅片制絨預(yù)清洗液；所述制絨預(yù)清洗液添加劑與堿溶液的質(zhì)量比為0.2～3:100；所述堿溶液為無(wú)機(jī)堿或有機(jī)堿的水溶液；
3）預(yù)清洗：將單晶硅片浸入步驟2）制得的預(yù)清洗液中進(jìn)行表面清洗，清洗溫度為75～90℃，清洗時(shí)間為500～1000s；
4）制絨：對(duì)預(yù)清洗后的單晶硅片不再次漂洗，直接進(jìn)行表面制絨。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅片的制絨方法，其特征在于，所述水為去離子水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅片的制絨方法，其特征在于，所述堿溶液為0.5～3wt％的氫氧化鈉或氫氧化鉀水溶液。
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