[發明專利]用于橫截面視圖薄層的背側打薄的高吞吐量TEM制備工藝和硬件有效
| 申請號： | 201710041560.5 | 申請日： | 2012-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN107084869B | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發明（設計）人： | P.基迪;B.彼得森;G.達斯;C.亨利;L.德沃金;J.布萊克伍德;S.斯通;M.施米德特 | 申請（專利權）人： | FEI公司 |
| 主分類號： | G01N1/32 | 分類號： | G01N1/32;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 畢錚;陳嵐 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 橫截面 視圖 薄層 背側打薄 吞吐量 tem 制備 工藝 硬件 | ||
1.一種用于制備樣品以用于成像的方法，該樣品從工件形成并具有頂側和背側，通過使用從該背側引導的離子束將該樣品打薄而制備該樣品以用于成像，該方法包括：
將探針附裝至該樣品的頂側上，該探針與該樣品的頂面形成第一角度；
從該工件提取該樣品；
將該探針旋轉180度，從而將該樣品的頂面的定向從水平位置改變至調換位置；
將該樣品附裝至可傾斜的樣品支座上，從而使得該樣品的頂面與樣品支座的平面垂直；
將該樣品支座傾斜，從而使得該樣品支座的平面被定向為相對于樣品臺在90度，其中，該樣品的背側背朝該樣品臺；
將該樣品臺傾斜，使得該樣品的頂面被定向為與FIB柱的光軸近似地垂直，其中，該樣品的背側面朝該FIB柱；
通過使用該離子束從該背側銑削該樣品來從該樣品的第一側將該樣品打薄；
將臺旋轉180度；以及
通過使用該離子束從該背側銑削該樣品來從該樣品的第二側將該樣品打薄，所述從該第二側將該第二側打薄產生表面，該表面與通過從該第一側將該樣品打薄所產生的表面平行，
其中，將樣品臺傾斜從而使得該樣品的頂面被定向為與該FIB柱的光軸近似地垂直包括：將該樣品臺傾斜，從而使得該樣品的頂面被定向為近似地在該FIB柱的10度以內。
2.一種用于制備樣品以用于成像的方法，該樣品從工件形成并具有頂側和背側，通過使用從該背側引導的離子束將該樣品打薄而制備該樣品以用于成像，該方法包括：
將探針附裝至該樣品的頂側上，該探針與該樣品的頂面形成第一角度；
從該工件提取該樣品；
將該探針旋轉180度，從而將該樣品的頂面的定向從水平位置改變至調換位置；
將該樣品附裝至可傾斜的樣品支座上，從而使得該樣品的頂面與樣品支座的平面垂直；
將該樣品支座傾斜，從而使得該樣品支座的平面被定向為相對于樣品臺在90度，其中，該樣品的背側背朝該樣品臺；
將該樣品臺傾斜，使得該樣品的頂面被定向為與FIB柱的光軸近似地垂直，其中，該樣品的背側面朝該FIB柱；
通過使用該離子束從該背側銑削該樣品來從該樣品的第一側將該樣品打薄；
將臺旋轉180度；以及
通過使用該離子束從該背側銑削該樣品來從該樣品的第二側將該樣品打薄，所述從該第二側將該第二側打薄產生表面，該表面與通過從該第一側將該樣品打薄所產生的表面平行，
其中，將該探針旋轉180度包括將該探針旋轉180度以將所釋放的樣品的頂面的定向從水平位置改變至調換位置，該樣品的頂面在該調換位置是豎直的，
其中，將樣品臺傾斜從而使得該樣品的頂面被定向為與該FIB柱的光軸近似地垂直包括：將該樣品臺傾斜，從而使得該樣品的頂面被定向為近似地在該FIB柱的10度以內。
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