[發(fā)明專利]光檢測(cè)裝置以及光檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710040480.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN107271057B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西脅青兒;鳴海建治;鹽野照弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營(yíng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01J9/02
• 分類號(hào): G01J9/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 齊秀鳳

1.一種光檢測(cè)裝置，具備：

光檢測(cè)器，具有主面，包含沿著所述主面配置的多個(gè)第1檢測(cè)器以及多個(gè)第2檢測(cè)器；

光耦合層，配置在所述光檢測(cè)器上或者上方；以及

遮光膜，配置在所述光耦合層上，

所述光耦合層包含：

第1低折射率層；

第1高折射率層，配置在所述第1低折射率層上，包含第1光柵；以及

第2低折射率層，配置在所述第1高折射率層上，

所述第1高折射率層具有比所述第1低折射率層以及所述第2低折射率層高的折射率，

所述遮光膜包含：透光區(qū)域、以及與所述透光區(qū)域相鄰的遮光區(qū)域，

所述透光區(qū)域與所述多個(gè)第1檢測(cè)器中包含的兩個(gè)以上的第1檢測(cè)器對(duì)置，

所述遮光區(qū)域與所述多個(gè)第2檢測(cè)器中包含的兩個(gè)以上的第2檢測(cè)器對(duì)置，

所述第1光柵包含：多個(gè)溝槽，分別在第1方向上延伸，

在俯視下，

所述第1方向上的所述透光區(qū)域的長(zhǎng)度短于與所述第1方向垂直的第2方向上的所述透光區(qū)域的長(zhǎng)度，

所述第1方向上的所述遮光區(qū)域的長(zhǎng)度短于所述第2方向上的所述遮光區(qū)域的長(zhǎng)度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置，其中，

在所述遮光膜配備多個(gè)透光區(qū)域，所述多個(gè)透光區(qū)域分別為所述透光區(qū)域，

在所述遮光膜配備多個(gè)遮光區(qū)域，所述多個(gè)遮光區(qū)域分別為所述遮光區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置，其中，

所述光檢測(cè)器還包含：

多個(gè)第1微透鏡，分別配置在所述多個(gè)第1檢測(cè)器之中的對(duì)應(yīng)的第1檢測(cè)器與所述光耦合層之間；以及

多個(gè)第2微透鏡，分別配置在所述多個(gè)第2檢測(cè)器之中的對(duì)應(yīng)的第2檢測(cè)器與所述光耦合層之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置，其中，

所述光耦合層還包含：

第3低折射率層，配置在所述第1低折射率層與所述光檢測(cè)器之間；以及

第2高折射率層，配置在所述第3低折射率層與所述第1低折射率層之間，包含第2光柵，

所述第2高折射率層具有比所述第1低折射率層以及所述第3低折射率層高的折射率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置，其中，

所述遮光區(qū)域的兩個(gè)表面之中靠近所述光耦合層的表面具有光反射性。

6.一種光檢測(cè)系統(tǒng)，具備：

光檢測(cè)裝置；以及

運(yùn)算電路，與所述光檢測(cè)裝置連接，

所述光檢測(cè)裝置包含：

光檢測(cè)器，具有主面，包含沿著所述主面配置的多個(gè)第1檢測(cè)器以及多個(gè)第2檢測(cè)器；

光耦合層，配置在所述光檢測(cè)器上或者上方；以及

遮光膜，配置在所述光耦合層上，

所述光耦合層包含：

第1低折射率層；

第1高折射率層，配置在所述第1低折射率層上，包含第1光柵；以及

第2低折射率層，配置在所述第1高折射率層上，

所述第1高折射率層具有比所述第1低折射率層以及所述第2低折射率層高的折射率，

所述遮光膜包含：透光區(qū)域、以及與所述透光區(qū)域相鄰的遮光區(qū)域，

所述透光區(qū)域與所述多個(gè)第1檢測(cè)器中包含的兩個(gè)以上的第1檢測(cè)器對(duì)置，

所述遮光區(qū)域與所述多個(gè)第2檢測(cè)器中包含的兩個(gè)以上的第2檢測(cè)器對(duì)置，

所述第1光柵包含：多個(gè)溝槽，分別在第1方向上延伸，

在俯視下，

所述第1方向上的所述透光區(qū)域的長(zhǎng)度短于與所述第1方向垂直的第2方向上的所述透光區(qū)域的長(zhǎng)度，

所述第1方向上的所述遮光區(qū)域的長(zhǎng)度短于所述第2方向上的所述遮光區(qū)域的長(zhǎng)度，

所述運(yùn)算電路在將由所述兩個(gè)以上的第1檢測(cè)器檢測(cè)的光量之和設(shè)為第1光量且將由所述兩個(gè)以上的第2檢測(cè)器檢測(cè)的光量之和設(shè)為第2光量時(shí)，輸出從下述組之中選擇的至少一個(gè)信號(hào)，該組構(gòu)成為包括：

第1信號(hào)，表示所述第2光量相對(duì)于所述第1光量的比；

第2信號(hào)，表示所述第1光量相對(duì)于所述第1光量與所述第2光量之和的比例；以及

第3信號(hào)，表示所述第2光量相對(duì)于所述第1光量與所述第2光量之和的比例。