[發明專利]一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法在審
| 申請號: | 201710036521.6 | 申請日: | 2017-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN106784315A | 公開(公告)日: | 2017-05-31 |
| 發明(設計)人: | 葉尚輝;郭麗峰;魏昂;周舟;黃維 | 申請(專利權)人: | 南京郵電大學 |
| 主分類號: | H01L51/40 | 分類號: | H01L51/40;H01L51/05 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司32200 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 210023 江蘇省南*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 改善 柔性 打印 有機 薄膜晶體管 制作方法 | ||
技術領域
本發明屬于有機場效應晶體管的制備方法領域,尤其涉及到一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法。
背景技術
無機電子器件問世以后,基于有機半導體的電子器件的應用前景隨著時間的推移而越發廣闊,比如有機太陽能電池、有機發光二極管、有機場效應晶體管、有機光電存儲器等納米器件。其中,有機場薄膜晶體管,簡稱organic thin-film transistor(OTFT),在經歷了多年的調查研究后,其頗具吸引力的特征逐漸映入大眾眼簾。
OTFT的獨特優勢在于它可實現大面積機械柔性顯示,同時擁有高性能、低功耗、低成本和易加工等技術特點,作為顯示器色彩豐富清晰。如今對于OTFT的追求之一在于進一步地縮短響應時間提升其性價比,諸多的努力也使得OTFT在環境生物等領域的傳感檢測方面有用武之地。比如,Narayan和他的團隊最初研究出的一種基于poly(3-octylthiophene-2,5-diyl)的OTFT光傳感器,就已經可以獲得100的開關電流的比(K.S.Narayan and N.Kumar,Appl.Phys.Lett.2001,79,1891-1893).。由此,各國各公司、高等院校和科研院所開始緊張密集地研究,以角逐這個行業的龍頭老大,爭取研發OTFT應用產品的一席之地。
OTFT中使用的有機材料基本可分為兩類,一是聚合物,比如商業化藥品poly(3-hexylthiophene),簡稱P3HT;另一類則是小分子,典型例子則是并五苯。由于眾多聚合物中強大的π-π鍵間作用可以大大促進載流子的傳輸,越來越多的研究致力于各種能改善OTFT載流子遷移率、電流開關比、閾值電壓和亞閾值擺幅等性能參數的有機新型功能材料的使用。為了進一步增強OTFT性能,努力工作主要集中在以下幾個方面:(1)研究探尋合成路線以構建出更利于載流子傳輸的材料模型,主要用于活性層、介電層和部分修飾層材料材料。(2)與傳統的涂膜技術相比較,溶液法等新型途徑獲得的有機薄膜在大面積、低成本的OTFT器件制備技術中更有潛在優勢。甚至在2014年,S.Tiwari等人發現懸浮膜轉移法獲得的OTFT電學性能比旋涂膜法制備的器件效果更佳(S.Tiwari,W.Takashima,S.Nagamatsu,S.K.Balasubramanian,and R.Prakash,J.Appl.Phys.2014,116,094306)。(3)由于載流子流經的活性層與介電層的距離僅為幾個分子的厚度,所以半導體和介電層的界面效應成為改善OTFT性能的重要方式之一,通過適當的界面修飾或自組裝處理可以顯著提升其載流子遷移率(X.Zhao,Q.Tang,H.Tian,Y.Tong,and Y.Liu,Org.Electron.2015,16,171-176)。(4)此外,越來越多的小組開始在活性層中摻雜各種有機分子,以此進一步增強其導電性。不同有機材料的摻雜濃度會導致OTFT活性層表面形貌的變化,部分還會由于結晶度的差異影響其性能(H.Kleemann,C.Schuenemann,A.A.Zakhidov,M.Riede,B.Lüssem,and K.Leo,Org.Electron.2012,13,58-65)。
雖然我國的科研水平與發達國家幾乎同步,但是OTFT經典活性層材料的單一使用使得性價比無法進一步提升,導致基于OTFT器件的產業化生產應用明顯不足。
發明內容
解決的技術問題:針對傳統經典材料的頻繁使用致使制備成本過高、制備OTFT工藝手段較為復雜、傳統器件能耗太大等技術問題,本發明提供一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法,成本低廉,工藝簡單,能耗較低。
技術方案:一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法,包括以下步驟:
步驟一:將相片紙分別用去離子水和氮氣清理表面;
步驟二:將經過步驟一處理的相片紙置于培養皿中放入真空干燥箱加熱;
步驟三:在經過步驟二處理的相片紙上打印銀電極,將相片紙置于培養皿中放入真空干燥箱加熱;
步驟四:將BFTII和P3HT混合后用氯仿做溶劑配成混合溶液,在所述混合溶液打印在經過步驟三處理的相片紙上的銀電極溝道中,然后進行熱退火處理,BFTII的分子結構如下:
步驟五:在經過步驟四處理的相片紙上打印介電層,將相片紙置于培養皿中放在真空干燥箱中加熱;
步驟六:涂紫外固化膠進行紫外固化,蓋上玻璃片后封裝完畢。
作為優選,所述相片紙切割尺寸為1.6cm×1.4cm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





