[發明專利]一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法在審
| 申請號： | 201710036521.6 | 申請日： | 2017-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN106784315A | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 葉尚輝;郭麗峰;魏昂;周舟;黃維 | 申請（專利權）人： | 南京郵電大學 |
| 主分類號： | H01L51/40 | 分類號： | H01L51/40;H01L51/05 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司32200 | 代理人： | 樓高潮 |
| 地址： | 210023 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改善 柔性 打印 有機 薄膜晶體管 制作方法 | ||
1.一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一：將相片紙分別用去離子水和氮氣清理表面；
步驟二：將經過步驟一處理的相片紙置于培養皿中放入真空干燥箱加熱；
步驟三：在經過步驟二處理的相片紙上打印銀電極，將相片紙置于培養皿中放入真空干燥箱加熱；
步驟四：將BFTII和P3HT混合后用氯仿做溶劑配成混合溶液，在所述混合溶液打印在經過步驟三處理的相片紙上的銀電極溝道中，然后進行熱退火處理，BFTII的分子結構如下：
步驟五：在經過步驟四處理的相片紙上打印介電層，將相片紙置于培養皿中放在真空干燥箱中加熱；
步驟六：涂紫外固化膠進行紫外固化，蓋上玻璃片后封裝完畢。
2.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，所述相片紙切割尺寸為1.6cm×1.4cm。
3.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟三中所述銀電極為邊柵結構，所述邊柵結構包括柵極、漏極、源極和溝道，所述溝道長度為80μm，寬度為8000μm。
4.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述混合溶液中BFTII和P3HT的總質量與氯仿的體積比為4mg/mL。
5.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述BFTII占BFTII和P3HT總質量的百分比為0～40％。
6.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述BFTII占BFTII和P3HT總質量的百分比為10％。
7.根據權利要求1所述的一種改善柔性打印有機薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述熱退火溫度為100℃，真空退火10分鐘。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
