[發(fā)明專利]一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710036521.6
• 申請(qǐng)日: 2017-01-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106784315A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉尚輝;郭麗峰;魏昂;周舟;黃維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京郵電大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L51/40
• 分類號(hào): H01L51/40;H01L51/05
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200
• 代理人: 樓高潮

1.一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：將相片紙分別用去離子水和氮?dú)馇謇肀砻妫?/p>

步驟二：將經(jīng)過(guò)步驟一處理的相片紙置于培養(yǎng)皿中放入真空干燥箱加熱；

步驟三：在經(jīng)過(guò)步驟二處理的相片紙上打印銀電極，將相片紙置于培養(yǎng)皿中放入真空干燥箱加熱；

步驟四：將BFTII和P3HT混合后用氯仿做溶劑配成混合溶液，在所述混合溶液打印在經(jīng)過(guò)步驟三處理的相片紙上的銀電極溝道中，然后進(jìn)行熱退火處理，BFTII的分子結(jié)構(gòu)如下：

步驟五：在經(jīng)過(guò)步驟四處理的相片紙上打印介電層，將相片紙置于培養(yǎng)皿中放在真空干燥箱中加熱；

步驟六：涂紫外固化膠進(jìn)行紫外固化，蓋上玻璃片后封裝完畢。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，所述相片紙切割尺寸為1.6cm×1.4cm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟三中所述銀電極為邊柵結(jié)構(gòu)，所述邊柵結(jié)構(gòu)包括柵極、漏極、源極和溝道，所述溝道長(zhǎng)度為80μm，寬度為8000μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述混合溶液中BFTII和P3HT的總質(zhì)量與氯仿的體積比為4mg/mL。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述BFTII占BFTII和P3HT總質(zhì)量的百分比為0～40％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述BFTII占BFTII和P3HT總質(zhì)量的百分比為10％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善柔性打印有機(jī)薄膜晶體管的制作方法，其特征在于，步驟四中所述熱退火溫度為100℃，真空退火10分鐘。