[發明專利]一種高溫超鋁-銅導線印制電路板的制備方法

有效

• 申請號: 201710035717.3
• 申請日: 2017-01-17
• 公開（公告）號: CN106793530B
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 吳子堅;程靜;林燦榮;張衛
• 申請（專利權）人: 廣東成德電子科技股份有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 孔凡亮

1.一種超鋁的制備方法，其特征在于，具體包括以下步驟：

將普通純鋁材放入微波爐中，并通入純凈的氦氣，將空氣從諧振腔中趕走，待壓強升到1000個標準大氣壓時，開啟微波爐和旋轉軸，對純鋁進行加溫，待到普通純鋁材呈熔融狀態時，再接通產生10000高斯強磁場的電磁器，持續35-45min后即可得在臨界溫度TC＝100K時，其電阻率為零的超鋁。

2.一種高溫超鋁-銅導線印制電路板的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)把雙面FR-4覆銅板裁剪成30×45cm的樣品板，備若干片；

2)用酸性蝕刻劑或堿性蝕刻劑將樣品板上的銅箔蝕刻掉，用純水反復沖洗干凈，然后置于通風的地方，自然晾干待用；

3)將自然晾干的樣品板放入PEG硅烷槽中進行硅烷化處理，處理時間3-5min，并將溫度控制在30-40℃，待處理完畢后，將樣品板從硅烷槽中取出，自然晾干后備用；

4)取耐高溫襯底材料，裁成與步驟1)中樣品板等大的承載板數片后，進行表面清潔；

5)把作耐溫襯底用的承載板放置在蒸鍍實驗室中，關嚴蒸鍍實驗室的腔口；

6)將采用權利要求1所述制備方法制得超鋁在諧振腔中放好后，把諧振腔的門關好，并用氦氣作為保護氣體趕走諧振腔和蒸鍍實驗室里空氣，之后開始抽氣，直至真空度為760mmHg止，接著將磁場調至10000高斯，然后開啟微波爐和旋轉軸，待爐溫度上升到3250-3750℃時，再開啟噴頭進行蒸鍍，蒸鍍25-30min后，關掉微波，維持磁場，待冷卻后拆去磁場并將蒸鍍上超鋁的承載板從蒸鍍實驗室中取出并保存好，依次進行同樣的操作，制作多片蒸鍍超鋁的承載板；

7)從上述步驟6)蒸鍍好的超鋁承載板中取出50片，在蒸鍍實驗室中放置好，將諧振腔中的超鋁換成Cu，并用保護氣體氦氣趕走諧振腔和蒸鍍實驗室里空氣，之后開始抽氣，將氦氣從諧振腔和蒸鍍實驗室中抽出，至真空度為760mmHg止，然后開啟微波爐和旋轉軸，待爐溫上升到2595-3600℃時，再開啟噴頭進行蒸鍍，蒸鍍2-3min后即可關掉微波爐，冷卻后從蒸鍍實驗室中取出超鋁-Cu承載板；

8)取50片步驟7)中蒸鍍好的超鋁-Cu承載板、50片步驟6)中蒸鍍好的超鋁承載板，分別將其上蒸鍍層從承載板上剝離下來，并做好標識，之后拿到壓合車間，分別與上述步驟3)中硅烷化處理后的樣品板進行壓合，壓合完畢，冷卻數分鐘后從壓合腔中取出，再用干膜按預先設計好圖樣進行掩膜后，分別用雙氧水-氯化鋁-鹽酸和雙氧水-氯化銅-鹽酸進行蝕刻，得蝕刻超鋁線條樣品板、蝕刻超鋁-銅線條樣品板；

9)將蝕刻好的超鋁-銅線條樣品板拿到綠油車間，絲印綠油阻焊層，即得高溫超鋁-銅導線PCB板。

3.如權利要求2所述的一種高溫超鋁-銅導線印制電路板的制備方法，其特征在于，所述步驟8)中的壓合溫度為175℃，壓合時間為70-80min，真空度為760mmHg。

4.一種權利要求2-3任一項所述方法制得高溫超鋁-銅導線印制電路板，其特征在于，該印制電路板包括硅烷化處理后的樣品板，所述樣品板上設有超鋁蒸鍍層，所述超鋁蒸鍍層上設有銅蒸鍍層，銅蒸鍍層上設有阻焊層。