[發明專利]一種基板傳送裝置及方法

有效

• 申請號: 201710033908.6
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN106698022B
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發明（設計）人: 劉思洋
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65H5/06
• 分類號: B65H5/06
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

【技術領域】

本發明涉及移動顯示器制造技術領域，特別涉及一種基板傳送裝置及方法。

【背景技術】

在TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)基板制作過程中，需要使用各種濕式機臺進行清洗、刻蝕、顯影等制程，這些濕式機臺通常包含干式傳送單元，藥液單元，水洗單元，以及對玻璃基板干燥的AK(air knife，空氣刀)單元等；在這些單元中，為了保證基板傳送過程中不會因為水流、氣流的變化而產生跳動，各單元基板前進方向的兩側固定距離均安裝有double roller(雙輥)和guide roller(導向輪)，以保證基板傳送的穩定性，防止基板發生跳動或者方向偏移。

在實踐中，發明人發現現有技術至少存在以下問題：

在實際使用過程中，容易發生double roller(雙輥)或者Guide roller gap(導輥間隙)異常以及形變的問題，而gap(間隙)異常或形變容易造成破片發生，嚴重影響生產的順利進行。另外，現有的機臺使用過程中，因為基板本身帶電，傳送時與Roller(滾筒)摩擦帶電，藥液或者水與Nozzle(噴嘴)摩擦帶電等問題，常常造成產品靜電炸傷，嚴重影響產品良率。

故，有必要提出一種新的技術方案，以解決上述技術問題。

【發明內容】

本發明的目的在于提供一種基板傳送裝置及方法，其能簡化結構，降低異常發生概率；另外，能及時有效地傳導基板上的靜電，防止產品靜電釋放炸傷。

為解決上述問題，本發明的技術方案如下：

本發明實施例提供了一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置包括：

第一導軌，所述第一導軌接地，以釋放靜電；

第二導軌，所述第二導軌接地，以釋放靜電；

第一雙輥，位于所述第一導軌上，并與所述第一導軌電性連接；

第二雙輥，位于所述第二導軌上，并與所述第二導軌電性連接；

其中，所述第一導軌與所述第二導軌并排設置，利用所述第一雙輥和所述第二雙輥將基板固定傳送。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述基板傳送裝置還包括：

第三雙輥，位于所述第一導軌上，并與所述第一導軌電性連接，且與所述第一雙輥間隔設置；

第四雙輥，位于所述第二導軌上，并與所述第二導軌電性連接，且與所述第二雙輥間隔設置；

其中，利用所述第三雙輥和所述第四雙輥將基板固定傳送。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述基板傳送裝置還包括：

傳送單元，所述基板位于所述傳送單元上，用于傳送所述基板。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、所述第四雙輥分別位于所述基板的四個角邊。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述第一雙輥和所述第二雙輥分別位于所述基板的對角邊。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述基板傳送裝置還包括：

雙輥控制單元，用于控制所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、以及所述第四雙輥均與所述傳送單元的傳輸速率同步。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述基板傳送裝置還包括：

傳送控制單元，用于控制所述傳送單元均與所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、以及所述第四雙輥的傳輸速率同步。

進一步的，在所述基板傳送裝置中，所述雙輥控制單元與所述傳送控制單元集成在同一模塊中。

本發明實施例還提供了一種包括上面所述的基板傳送裝置的基板傳送方法，包括以下步驟：

將基板放置在傳送單元上；

對所述傳送單元以及第一雙輥和第二雙輥進行通電；

向所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥輸出控制指令；

根據所述控制指令，控制所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥以相同的傳輸速率同步傳送。

進一步的，在所述基板傳送方法中，所述基板傳送方法，還包括：

對第三雙輥和第四雙輥進行通電；

向所述第三雙輥和所述第四雙輥輸出所述控制指令；

根據所述控制指令，控制所述第三雙輥和第四雙輥與所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥以相同的傳輸速率同步傳送。