[發明專利]一種基板傳送裝置及方法

有效

• 申請號: 201710033908.6
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN106698022B
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發明（設計）人: 劉思洋
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65H5/06
• 分類號: B65H5/06
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置包括：

第一導軌，所述第一導軌接地，以釋放靜電；

第二導軌，所述第二導軌接地，以釋放靜電；

第一雙輥，位于所述第一導軌上，并與所述第一導軌電性連接；

第二雙輥，位于所述第二導軌上，并與所述第二導軌電性連接；

其中，所述第一導軌與所述第二導軌并排設置，利用所述第一雙輥和所述第二雙輥將基板固定傳送。

2.根據權利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置還包括：

第三雙輥，位于所述第一導軌上，并與所述第一導軌電性連接，且與所述第一雙輥間隔設置；

第四雙輥，位于所述第二導軌上，并與所述第二導軌電性連接，且與所述第二雙輥間隔設置；

其中，利用所述第三雙輥和所述第四雙輥將基板固定傳送。

3.根據權利要求1或2所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置還包括：

傳送單元，所述基板位于所述傳送單元上，用于傳送所述基板。

4.根據權利要求2所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、所述第四雙輥分別位于所述基板的四個角邊。

5.根據權利要求1所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述第一雙輥和所述第二雙輥分別位于所述基板的對角邊。

6.根據權利要求3所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置還包括：

雙輥控制單元，用于控制所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、以及所述第四雙輥均與所述傳送單元的傳輸速率同步。

7.根據權利要求6所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置還包括：

傳送控制單元，用于控制所述傳送單元均與所述第一雙輥、所述第二雙輥、所述第三雙輥、以及所述第四雙輥的傳輸速率同步。

8.根據權利要求7所述的基板傳送裝置，其特征在于，所述雙輥控制單元與所述傳送控制單元集成在同一模塊中。

9.一種包括權利要求1至8任一項所述的基板傳送裝置的基板傳送方法，其特征在于，包括以下步驟：

將基板放置在傳送單元上；

對所述傳送單元以及第一雙輥和第二雙輥進行通電；

向所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥輸出控制指令；

根據所述控制指令，控制所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥以相同的傳輸速率同步傳送。

10.根據權利要求9所述的基板傳送方法，其特征在于，所述基板傳送方法，還包括：

對第三雙輥和第四雙輥進行通電；

向所述第三雙輥和所述第四雙輥輸出所述控制指令；

根據所述控制指令，控制所述第三雙輥和第四雙輥與所述傳送單元以及所述第一雙輥和所述第二雙輥以相同的傳輸速率同步傳送。