[發(fā)明專利]曝光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710020518.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-12
• 公開（公告）號(hào): CN107039226B
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 濱口新一;田中仁;得能敦;小島信一;山田章夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛德萬(wàn)測(cè)試
• 主分類號(hào): H01J37/06
• 分類號(hào): H01J37/06;H01J37/12;H01J37/147;H01J37/22;G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種曝光裝置，其具有形成試樣上的照射位置不同的多個(gè)帶電粒子束的形成部，其特征在于，

所述形成部具有：

粒子源，其從在長(zhǎng)邊方向和與該長(zhǎng)邊方向垂直的短邊方向上具有不同寬度的放射區(qū)域放射帶電粒子束；

孔徑陣列元件，其在長(zhǎng)邊方向和與該長(zhǎng)邊方向垂直的短邊方向上具有不同寬度的被照明區(qū)域上配置有多個(gè)開口；

照明透鏡，其設(shè)置于所述粒子源與所述孔徑陣列元件之間；以及

束截面變形元件，其設(shè)置于所述粒子源與所述孔徑陣列元件之間，通過磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用，增大帶電粒子束截面的長(zhǎng)邊方向的寬度，縮小其短邊方向的寬度，使所述帶電粒子束的截面形狀變形為與所述放射區(qū)域的形狀相比更細(xì)長(zhǎng)地拉伸后的形狀；

所述照明透鏡由作為配置位置不同的至少兩個(gè)照明透鏡的粒子源側(cè)照明透鏡和孔徑陣列側(cè)照明透鏡構(gòu)成；

所述束截面變形元件配置于所述粒子源側(cè)照明透鏡與所述孔徑陣列側(cè)照明透鏡之間的、由所述粒子源側(cè)照明透鏡形成所述放射區(qū)域的像的位置處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

所述粒子源具有：

陰極部，其在末端具有在長(zhǎng)邊方向和與該長(zhǎng)邊方向垂直的短邊方向上具有不同寬度的帶電粒子的產(chǎn)生部；以及

控制電極，其具有在長(zhǎng)邊方向和與該長(zhǎng)邊方向垂直的短邊方向上的寬度不同的開口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制電極的開口的長(zhǎng)邊方向與所述產(chǎn)生部的長(zhǎng)邊方向平行，從所述粒子源的束放射方向觀察時(shí)，將所述控制電極的開口的短邊方向的寬度二等分的線與將所述產(chǎn)生部的短邊方向的寬度二等分的線一致。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的曝光裝置，其特征在于，

所述照明透鏡是關(guān)于帶電粒子束通過的光軸軸對(duì)稱的帶電粒子束透鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的曝光裝置，其特征在于，

所述照明透鏡是無旋轉(zhuǎn)組合透鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的曝光裝置，其特征在于，

所述孔徑陣列元件的所述被照明區(qū)域設(shè)置于與所述照明透鏡形成所述放射區(qū)域的像的位置不同的位置處。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的曝光裝置，其特征在于，

所述產(chǎn)生部為矩形，該產(chǎn)生部的長(zhǎng)邊寬度與短邊寬度的比是5以上且50以下。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的曝光裝置，其特征在于，

所述孔徑陣列元件的所述被照明區(qū)域的長(zhǎng)邊方向?qū)挾扰c短邊方向?qū)挾鹊谋仁?00以上且1000以下。