[發明專利]包括薄膜晶體管陣列面板的顯示裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201710019900.4 | 申請日: | 2017-01-11 |
| 公開(公告)號: | CN106960850B | 公開(公告)日: | 2023-05-23 |
| 發明(設計)人: | 徐泰安;裴水斌;丁有光;趙炫珉;崔新逸;崔溱桓 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;H01L21/84 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 劉燦強;陳曉博 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 包括 薄膜晶體管 陣列 面板 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種包括薄膜晶體管陣列面板的顯示裝置,所述顯示裝置包括:
第一基底;
第一電極,設置在所述第一基底上;
第一絕緣層,包括第一孔,所述第一絕緣層設置在所述第一電極上;
第二絕緣層,設置在所述第一絕緣層上并且包括與所述第一孔對應的第二孔;以及
蓋層,包括第一內部部分,設置在形成所述第二絕緣層的所述第二孔的內側表面上,并且所述第一內部部分與所述內側表面接觸,
其中,所述第一內部部分的與所述第一孔對應的部分被去除,并且所述第一內部部分的設置在所述第二孔中的端部與所述第一電極分開。
2.根據權利要求1所述的顯示裝置,其中:
所述第二孔的平面尺寸大于所述第一孔的平面尺寸。
3.根據權利要求2所述的顯示裝置,其中:
所述蓋層包括設置在所述第二絕緣層的上表面上并且與所述第一內部部分連接的上部部分。
4.根據權利要求3所述的顯示裝置,所述顯示裝置還包括:
導體,設置在所述蓋層上并且通過所述第一孔和所述第二孔與所述第一電極連接。
5.根據權利要求4所述的顯示裝置,其中:
所述上部部分包括與所述導體疊置的至少一部分以及不與所述導體疊置的部分。
6.根據權利要求5所述的顯示裝置,所述顯示裝置還包括:
第三絕緣層,設置在所述第一絕緣層與所述第二絕緣層之間,并且包括與所述第一孔和所述第二孔對應的第三孔;以及
第二電極,設置在所述第一絕緣層和所述第三絕緣層之間,
其中,所述第三絕緣層還包括設置在所述第二電極上的第四孔,
其中,所述第二絕緣層還包括與所述第四孔對應的第五孔,
其中,所述蓋層還包括位于形成所述第五孔的內側表面上的第二內部部分。
7.根據權利要求5所述的顯示裝置,其中:
所述蓋層包括設置在所述第二絕緣層的上表面上的切口。
8.根據權利要求1所述的顯示裝置,其中:
所述第一內部部分的設置在所述第二孔中的厚度不均勻。
9.根據權利要求8所述的顯示裝置,其中:
所述第二絕緣層的形成所述第二孔的所述內側表面包括其上設置有所述第一內部部分的第一表面和面對所述第一表面的第二表面,
其中,所述蓋層不設置在所述第二表面上。
10.根據權利要求8所述的顯示裝置,其中:
所述第一內部部分的厚度在更接近于所述第一基底處更薄。
11.根據權利要求9所述的顯示裝置,其中:
所述蓋層還包括設置在所述第二絕緣層的上表面上并且與所述第一內部部分連接的上部部分。
12.根據權利要求11所述的顯示裝置,所述顯示裝置還包括:
導體,設置在所述蓋層上并且通過所述第一孔與所述第一電極連接,
其中,所述導體覆蓋所述上部部分的上表面。
13.根據權利要求1所述的顯示裝置,其中:
所述蓋層不設置在所述第一絕緣層的形成所述第一孔的內側表面上。
14.一種用于制造包括薄膜晶體管陣列面板的顯示裝置的方法,所述方法包括:
在第一基底上形成第一電極;
在所述第一電極上形成第一絕緣層;
在所述第一絕緣層上形成第二絕緣層;
在所述第二絕緣層中形成第一孔;
在所述第二絕緣層上形成蓋層;
去除所述蓋層的設置在所述第一孔中的一部分;以及
通過去除與所述蓋層的在所述第一孔中的去除部分對應的所述第一絕緣層形成與所述第一孔對應的第二孔。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





