[發明專利]一種用于KDP晶體的油包酸性離子液體拋光液有效
| 申請號： | 201710017150.7 | 申請日： | 2017-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN106811135B | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發明（設計）人： | 董會;潘金龍;王利利;王超;李曉媛;高偉;黃姝珂;吉方;王寶瑞 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所 |
| 主分類號： | C09G1/18 | 分類號： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 中國工程物理研究院專利中心 51210 | 代理人： | 翟長明;韓志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 酸性離子液體 拋光液 微乳液 油包 化學機械拋光 助表面活性劑 表面活性劑 拋光 化學反應 表面粗糙度 分散相溶劑 選擇性去除 表面凸起 反應特性 高選擇性 晶體表面 摩擦作用 性質穩定 綜合考慮 分散相 堿腐蝕 界面膜 無殘留 有機酸 包覆 潮解 切刀 制備 擠壓 兼容 削弱 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于KDP晶體的油包酸性離子液體拋光液，其特征在于：所述的拋光液各組分的質量百分比為：
油相：25%~60%；
分散相溶劑：10%~15%；
酸性離子液體：5%~15%；
表面活性劑：15%~45%；
助表面活性劑：5%~15%；
所述的油相為非極性有機溶劑，環己烷、正己烷、單油酸甘油酯、三油酸甘油酯或三辛酸甘油酯中的一種；
所述的分散相溶劑為乙醇、異丙醇或1-己基-3-甲基咪唑六氟磷酸鹽中的一種；
所述的酸性離子液體為雙三氟甲磺酰亞胺、己內酰胺磷酸鹽、N，N′-二甲基甲酰胺磷酸鹽、1-丁基-3-甲基咪唑硫酸氫鹽或吡啶硫酸氫鹽中的一種；
所述的表面活性劑為壬基酚聚氧乙烯醚、烷基聚氧乙烯醚或脂肪醇聚氧乙烯醚中的一種；
所述的助表面活性劑為正丁醇、正戊醇、正己醇或正辛醇中的一種。
2.根據權利要求1所述的用于KDP晶體的油包酸性離子液體拋光液，其特征在于：所述的拋光液的制備環境溫度為20℃~25℃，相對濕度為30%~50%，氣壓為常壓。
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