[發(fā)明專利]一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710012999.5
• 申請(qǐng)日: 2017-01-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106630659B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張杰;沈勵(lì);鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津美泰真空技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 12219
• 代理人: 陳松

一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液，其特征在于所述預(yù)處理液由以下成分組成：質(zhì)量百分比含量10～20％的鹽酸(HCl)，質(zhì)量百分比含量2％～5％的氫氟酸(HF)，質(zhì)量百分比含量5～10％的聚乙烯醇(PVA)，質(zhì)量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷，質(zhì)量百分含量1?2％的羥丙基?β?環(huán)糊精及余量的水。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于TFT玻璃基板蝕刻預(yù)處理的組合物。

背景技術(shù)

市場(chǎng)需求的TFT顯示屏越來(lái)越朝超薄方向發(fā)展，在制作超薄TFT顯示屏使需要的玻璃基板厚度更薄，需要對(duì)現(xiàn)有規(guī)格玻璃基板進(jìn)行薄化處理，現(xiàn)有技術(shù)中多采用含有氫氟酸的蝕刻液進(jìn)行薄化處理，在薄化處理后玻璃基板表明往往會(huì)出現(xiàn)局部過(guò)蝕產(chǎn)生的凹坑，需要再對(duì)基板表明進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的拋光處理，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效率，提高了加工成本。為了減少薄化處理出現(xiàn)的凹坑，除了在以氫氟酸為基礎(chǔ)的蝕刻液中加入助劑外，還可以采用在薄化處理前對(duì)TFT液晶屏的玻璃基板(簡(jiǎn)稱TFT玻璃)進(jìn)行預(yù)處理的方法，現(xiàn)有技術(shù)中的預(yù)處理液多采用濃硫酸為基礎(chǔ)配制的混合酸液，在提供一種新的TFT玻璃薄化工藝預(yù)處理液，在提高處理效果的基礎(chǔ)上降低污染排放，成為現(xiàn)有技術(shù)中亟待解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

為解決前述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液，通過(guò)優(yōu)化預(yù)處理液的處方和處理工藝，成功的實(shí)現(xiàn)了避免了濃硫酸等造成嚴(yán)重污染且難于處理的原材料的使用。

本發(fā)明提供了一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液，其特征在于所述預(yù)處理液由以下成分組成：質(zhì)量百分比含量10～20％的鹽酸(HCl)，質(zhì)量百分比含量2％～5％的氫氟酸(HF)，質(zhì)量百分比含量5～10％的聚乙烯醇(PVA)，質(zhì)量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷，質(zhì)量百分含量1-2％的羥丙基-β-環(huán)糊精及余量的水。

在研究中我們發(fā)現(xiàn)，當(dāng)采用本發(fā)明提供的一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液對(duì)TFT玻璃基板按照本發(fā)明提供的工藝進(jìn)行預(yù)處理后，可以顯著降低薄化工藝后基板表面的凹坑，大大減少再研磨工序的時(shí)間，且通過(guò)優(yōu)化預(yù)處理液的配方可以使得預(yù)處理后的玻璃基板的CF面和TFT面均具有較好的薄化效果。從而可以整體上降低后續(xù)研磨工序的時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。同時(shí)本發(fā)明提供的預(yù)處理液在保證了預(yù)處理效果的同時(shí)，避免了現(xiàn)有技術(shù)中采用濃硫酸為主要成分的預(yù)處理液在使用時(shí)的不安全性和廢液難于處理的問(wèn)題，減少了這個(gè)TFT面板生產(chǎn)工藝的污染排放和污染物處理成本。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供的一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液，以如下方法配制，

1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋

2)將處方量的羥丙基-β-環(huán)糊精溶于適量水中至完全溶解，然后加入；

3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解

4)將步驟2)、3)得到的溶液混合，然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入，加入處方量聚二甲基硅氧烷，補(bǔ)足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。

實(shí)施例1～4的配方見(jiàn)下表(質(zhì)量百分比wt％)

對(duì)實(shí)施例1～4得到的預(yù)處理液進(jìn)行薄化預(yù)處理的方法如下

取用原材料為板硝子AN100相同廠家同批次的TFT玻璃面板進(jìn)行，其厚度為1.000mm，尺寸為730mm×920mm。所采用的蝕刻及拋光設(shè)備分別為東莞鴻村蝕刻機(jī)和湖南永創(chuàng)拋光機(jī)。

預(yù)處理方法為

1)配制一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液1000L(以下簡(jiǎn)稱預(yù)處理液)

2)將預(yù)處理液打入蝕刻機(jī)酸槽中，把5片TFT基板(編號(hào)為I～V)浸泡在混合液中，去除玻璃表面雙層60微米；