[發明專利]一種TFT玻璃基板薄化工藝預處理液

有效

• 申請號: 201710012999.5
• 申請日: 2017-01-09
• 公開（公告）號: CN106630659B
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 張杰;沈勵;鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖
• 申請（專利權）人: 天津美泰真空技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 天津合志慧知識產權代理事務所(普通合伙) 12219
• 代理人: 陳松

1.一種TFT玻璃基板薄化工藝預處理液，其特征在于所述預處理液由以下成分組成：

質量百分比10％的鹽酸，質量百分比2％的氫氟酸，質量百分比5％的PVA，質量百分比0.5％的聚二甲硅氧烷，質量百分比1％的羥丙基-β-環糊精及余量的水；

所述預處理液的配制方法為：

1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋

2)將處方量的羥丙基-β-環糊精溶于適量水中至完全溶解，然后加入；

3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解

4)將步驟2)、3)得到的溶液混合，然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入，加入處方量聚二甲基硅氧烷，補足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。

2.一種TFT玻璃基板薄化工藝預處理液，其特征在于所述預處理液由以下成分組成：

質量百分比20％的鹽酸，質量百分比5％的氫氟酸，質量百分比10％的PVA，質量百分比1％的聚二甲硅氧烷，質量百分比2％的羥丙基-β-環糊精及余量的水；

所述預處理液的配制方法為：

1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋

2)將處方量的羥丙基-β-環糊精溶于適量水中至完全溶解，然后加入；

3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解

4)將步驟2)、3)得到的溶液混合，然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入，加入處方量聚二甲基硅氧烷，補足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。

3.一種TFT玻璃基板薄化工藝預處理液，其特征在于所述預處理液由以下成分組成：

質量百分比10％的鹽酸，質量百分比5％的氫氟酸，質量百分比10％的PVA，質量百分比0.5％的聚二甲硅氧烷，質量百分比1％的羥丙基-β-環糊精及余量的水；

所述預處理液的配制方法為：

1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋

2)將處方量的羥丙基-β-環糊精溶于適量水中至完全溶解，然后加入；

3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解

4)將步驟2)、3)得到的溶液混合，然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入，加入處方量聚二甲基硅氧烷，補足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。

4.一種TFT玻璃基板薄化工藝預處理液，其特征在于所述預處理液由以下成分組成：

質量百分比20％的鹽酸，質量百分比2％的氫氟酸，質量百分比5％的PVA，質量百分比0.5％的聚二甲硅氧烷，質量百分比1％的羥丙基-β-環糊精及余量的水；

所述預處理液的配制方法為：

1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合，并加入適量水稀釋

2)將處方量的羥丙基-β-環糊精溶于適量水中至完全溶解，然后加入；

3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解

4)將步驟2)、3)得到的溶液混合，然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入，加入處方量聚二甲基硅氧烷，補足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。