[發明專利]整體點陣反射加權的聲表面波諧振器

有效

• 申請號: 201710012685.5
• 申請日: 2017-01-09
• 公開（公告）號: CN106788321B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 游瑞煌
• 申請（專利權）人: 廣東斐瑞智能技術有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25
• 代理公司: 佛山市廣盈專利商標事務所(普通合伙) 44339
• 代理人: 楊樂兵

本發明提供一種整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，包括壓電基片，在所述壓電基片上濺射金屬叉指換能器和反射柵，所述反射柵包括分別設置在金屬叉指換能器左右兩側的第一短路柵和第二短路柵，所述第一短路柵和第二短路柵在所述金屬叉指換能器左右兩側對稱分布，在所述金屬叉指換能器的假指與相鄰電極之間、第一短路柵的相鄰柵條之間和第二短路柵的相鄰柵條之間分別設置金屬點陣。本發明的有益效果是在金屬叉指換能器的假指以及第一短路柵和第二短路柵上設置金屬加權點陣,可降低由于金屬叉指換能器和反射柵反射引起的旁峰干擾，提高SAW諧振器的頻率響應性能。

技術領域

本發明屬于信號與信息處理技術領域，尤其是涉及一種整體點陣反射加權的聲表面波諧振器。

背景技術

一般SAW諧振器，是在壓電基片表面加工金屬叉指換能器(InterdigitalTransducer，IDT)和反射柵。通常諧振器僅僅關心主諧振峰的性能。但是由于IDT假指及反射柵采用周期且不加權的結構，旁峰比較高。

文獻“Analysis of general planar waveguides with N segments,”(IEEEUltrason.Symp.,pp.137–141,2000.)和Ken-ya Hashimoto編著的《聲表面波器件模擬與仿真》(pp.213-218)中指出在主諧振峰外有較多的旁峰波動，基本原理如圖1所示。該書(pp.25-27)對柵條的反射特性進行了分析。其中，入射SAW的振幅為A_in，A_-是柵條左側反射的SAW振幅，A₊是柵條右側反射的SAW振幅，r_-和r₊分別是柵條左側和柵條右側的反射系數，并且r_-＝-r₊。形成的旁峰機理包括兩類：第一類為SAW垂直于指條傳播，聲波經過多次反射情況下，形成主峰和多個旁峰，這類旁峰的頻率通常在主諧振峰的兩側；第二類為SAW在諧振器里面發生斜入射，形成高階旁峰，旁峰的頻率高于主諧振峰，如《聲表面波器件模擬與仿真》書中的圖5.10，這種旁峰模式又稱為橫波模式。

為了提高帶外抑制，消除旁峰模式的影響，已經出現了幾種聲表面波諧振器的結構設計。

文獻“Low resistance quartz resonators for automotive applicationswithout spurious modes”(IEEE Ultrason.Symp.,pp.1326–1329,2004.)報道，采用非對稱基波模式攜帶聲波信號，可以抑制第二類橫波的旁峰模式的影響，抑制比主諧振峰高的橫波旁峰模式，對于非橫波引起的第一類旁峰并沒有改善。

專利“點陣結構的聲表面波諧振器”(申請號201310210349.3)，在聲表面波諧振器的IDT上設置金屬點陣，點陣在垂直于指條方向(X方向)上周期性分布，平行于指條方向(Y方向)隨機分布。該發明通過Y方向的非周期性消除高階橫波模式，但是也沒有抑制第一類旁峰。

文獻“基于Hamming函數變跡加權SAW溫度傳感器設計”(電子元件與材料，第30卷第11期，pp.38-41，2011)提出，對IDT進行Hamming函數加權，IDT部分的加權可以部分降低換能影響第一類旁峰的抑制，但是IDT及反射柵反射引起的第一類旁峰沒有考慮。

專利“點陣結構的聲表面波諧振器”(申請號201310210349.3)”申請的點陣加權僅僅出現在反射柵部分，抑制了周期反射柵引起的第一類旁峰模式抑制，但是對IDT內部反射引起的第一類旁峰沒有考慮。

上述結構均試圖降低旁峰干擾，但是都沒有提及第一類旁峰中，綜合考慮IDT及反射柵反射引起的聲波旁峰模式抑制，因此該技術有待于進一步改進和發展。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的在于提供一種整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，采用IDT假指和反射柵進行整體點陣加權的結構實現抑制主諧振峰兩側旁峰。