[發明專利]整體點陣反射加權的聲表面波諧振器

有效

• 申請號: 201710012685.5
• 申請日: 2017-01-09
• 公開（公告）號: CN106788321B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 游瑞煌
• 申請（專利權）人: 廣東斐瑞智能技術有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25
• 代理公司: 佛山市廣盈專利商標事務所(普通合伙) 44339
• 代理人: 楊樂兵

1.一種整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：包括壓電基片，在所述壓電基片上濺射金屬叉指換能器和反射柵，所述反射柵包括分別設置在金屬叉指換能器左右兩側的第一短路柵和第二短路柵，所述第一短路柵和第二短路柵在所述金屬叉指換能器左右兩側對稱分布，在所述金屬叉指換能器的假指與相鄰電極之間、第一短路柵的相鄰柵條之間和第二短路柵的相鄰柵條之間分別設置金屬點陣，金屬點陣包括按排列間距W₂分布在相連兩根柵條之間的N_w個金屬點；

其中，N_w、W₂的計算公式如下所示：N_w＝A*(1-f(n))/ W₁，W₂＝A/N_w- W₁，n為整數且小于柵條總根數， A為柵條孔徑，W₁為金屬點的高度，f(n)為預設的加權函數。

2.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述反射柵的第一短路柵和第二短路柵的金屬指條材料為鋁，厚度為2600埃；周期λ為7 .051微米。

3.根據權利要求2所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述第一短路柵和第二短路柵的柵條寬度與間隔寬度比為0 .4。

4.根據權利要求2所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述第一短路柵和第二短路柵均包含184根金屬指條。

5.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述金屬叉指換能器為單端諧振器結構。

6.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述壓電基片的材質選用石英、鈮酸鋰、鉭酸鋰或者硅酸鎵鑭。

7.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述的壓電基片材質采用ST-X石英。

8.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：所述金屬點陣采用金屬鋁，厚度為2600埃；柵條孔徑A為310微米。

9.根據權利要求1所述的整體點陣反射加權的聲表面波諧振器，其特征在于：在所述金屬叉指換能器的假指與相鄰電極之間、第一短路柵的相鄰柵條之間和第二短路柵的相鄰柵條之間金屬點陣的點陣高度，采用加權函數f(n)進行加權，所述f(n)為Hamming函數、反余弦函數或者Kaiser函數。