[發明專利]清洗裝置

在審

• 申請號: 201710011014.7
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN106944402A
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 小澤卓;橫山俊夫;戶川哲二
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;B08B1/02;B08B11/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司31300
• 代理人: 肖華

技術領域

本發明涉及向清洗對象物的清洗面供給清洗液而對清洗面進行清洗的清洗裝置，涉及提高清洗液的清洗效果的技術。

背景技術

以往，公知有如下的清洗裝置：向清洗對象物的清洗面供給清洗液而對清洗面進行清洗。這樣的清洗裝置例如在半導體、液晶面板等平板顯示器的制造工序中在將抗蝕劑剝離(溶解)的處理中使用(例如參照專利文獻1)。

以往，在將抗蝕劑剝離(溶解)的處理中，使用藥液作為清洗水，但近年來，從對環境的影響等觀點出發，要求降低藥液的使用量，開始使用臭氧來取而代之。臭氧具有將有機物溶解的能力，能夠將作為有機物的抗蝕劑去除。通常情況下，使臭氧溶解于純水等而作為臭氧水供給至基板。然而，由于臭氧不溶入高溫狀態(例如，在大氣壓下為60℃以上)的純水，因此準備高濃度且高溫的臭氧水是非常困難的。因此，在以往的清洗裝置中，通常在常溫下使用作為清洗液的臭氧水。

專利文獻1：日本特開平4-179225號公報

然而，近年來，多數情況下使用被注入了高濃度離子的抗蝕劑，在以往的清洗裝置中，將這樣的抗蝕劑剝離是很困難的。并且，近年來，為了提高吞吐量而要求抗蝕劑的去除速率的進一步的提高。因此，要求清洗裝置的清洗效果的進一步的提高，例如優選清洗液(臭氧水)的反應速度較快的高溫下的清洗處理(抗蝕劑剝離處理)的實現。

發明內容

本發明是鑒于上述的課題而完成的，其目的在于，提供能夠通過高溫的清洗液來提高清洗效果的清洗裝置。

用于解決課題的手段

本發明的清洗裝置具有：加熱單元，其對清洗對象物的清洗面進行加熱；清洗單元，其向所述清洗對象物的清洗面供給清洗液而對所述清洗面進行清洗；以及控制單元，其對所述清洗面的加熱和所述清洗液的供給進行控制，以使得在對所述清洗面進行了加熱之后對所述清洗面進行清洗。

根據該結構，通過控制單元對清洗面的加熱和清洗液的供給進行控制，在通過加熱單元對清洗面進行了加熱之后，通過清洗單元對清洗面進行清洗。由此，通過加熱后的清洗面對供給至清洗面的清洗液進行加熱，通過高溫的清洗液來提高清洗效果。

并且，在本發明的清洗裝置中，也可以是，所述清洗液是通過使規定的物質溶解于溶劑而形成的，所述清洗單元以比所述物質不溶解于所述溶劑的臨界溫度低的溫度將所述清洗液供給至所述清洗面，所述加熱單元將所述清洗面加熱到比所述臨界溫度高的溫度。

根據該結構，通過加熱單元將清洗面加熱到比臨界溫度(物質不溶解于溶劑的溫度)高的溫度。清洗液雖然被清洗單元以比臨界溫度低的溫度供給至清洗面，但在供給至清洗面之后，由加熱后的清洗面加熱到比臨界溫度高的溫度。這樣，通過加熱后的清洗面將供給至清洗面的清洗液加熱到比臨界溫度高的溫度，能夠得到通常情況下(比臨界溫度低的溫度的清洗液)無法得到的較高的清洗效果。

并且，也可以是，本發明的清洗裝置具有流體簾單元，該流體簾單元產生對所述清洗面的周圍進行覆蓋的流體簾。

根據該結構，通過流體簾對清洗面的周圍進行覆蓋，能夠防止供給至清洗面的清洗液等逸出到清洗面的周圍，提高清洗液的清洗效果。

并且，也可以是，本發明的清洗裝置具有：臂部件，其設置有所述加熱單元和所述清洗單元；以及驅動單元，其使所述臂部件擺動或者平行移動，以使得所述加熱單元和所述清洗單元在所述清洗面上往復運動。

根據該結構，通過驅動單元使臂部件擺動或者平行移動，設置于臂部件的加熱單元和清洗單元一同在清洗面上往復運動。由此，對于清洗面的整體，能夠在通過加熱單元對清洗面進行加熱之后，通過清洗單元對清洗面進行清洗。

并且，在本發明的清洗裝置中，也可以是，所述驅動單元使所述臂部件擺動或者平行移動，以使得所述清洗單元在所述加熱單元所移動的移動路線上移動。

根據該結構，通過驅動單元使臂部件擺動或者平行移動，清洗單元在加熱單元所移動的移動路線上移動。通過以這種方式使清洗單元移動，而能夠在通過加熱單元對清洗面進行加熱之后，通過清洗單元對清洗面進行清洗。

并且，在本發明的清洗裝置中，也可以是，在所述清洗單元移動的移動路線上配置有所述加熱單元。

根據該結構，在清洗單元移動的移動路線上配置有加熱單元。通過以這種方式配置加熱單元，而能夠在通過加熱單元對清洗面進行加熱之后，通過清洗單元對清洗面進行清洗。

發明效果

根據本發明，能夠通過加熱后的清洗面對供給至清洗面的清洗液進行加熱，能夠通過高溫的清洗液來提高清洗效果。

附圖說明