[發(fā)明專利]清洗裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710011014.7 | 申請日： | 2017-01-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106944402A | 公開（公告）日： | 2017-07-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 小澤卓;橫山俊夫;戶川哲二 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社荏原制作所 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/08 | 分類號(hào)： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;B08B1/02;B08B11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 清洗 裝置 | ||
1.一種清洗裝置，其特征在于，具有：
加熱單元，該加熱單元對清洗對象物的清洗面進(jìn)行加熱；
清洗單元，該清洗單元向所述清洗對象物的清洗面供給清洗液而對所述清洗面進(jìn)行清洗；以及
控制單元，該控制單元對所述清洗面的加熱和所述清洗液的供給進(jìn)行控制，以使得在對所述清洗面進(jìn)行了加熱之后對所述清洗面進(jìn)行清洗。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，
所述清洗液是通過使規(guī)定的物質(zhì)溶解于溶劑而形成的，
所述清洗單元以比所述物質(zhì)不溶解于所述溶劑的臨界溫度低的溫度將所述清洗液供給至所述清洗面，
所述加熱單元將所述清洗面加熱到比所述臨界溫度高的溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，
該清洗裝置具有流體簾單元，該流體簾單元產(chǎn)生對所述清洗面的周圍進(jìn)行覆蓋的流體簾。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，具有：
臂部件，該臂部件設(shè)置有所述加熱單元和所述清洗單元；以及
驅(qū)動(dòng)單元，該驅(qū)動(dòng)單元使所述臂部件擺動(dòng)或者平行移動(dòng)，以使得所述加熱單元和所述清洗單元在所述清洗面上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，
所述驅(qū)動(dòng)單元使所述臂部件擺動(dòng)或者平行移動(dòng)，以使得所述清洗單元在所述加熱單元所移動(dòng)的移動(dòng)路線上移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，
在所述清洗單元移動(dòng)的移動(dòng)路線上配置有所述加熱單元。
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