[發(fā)明專利]用于制造機電的變換器的層系統(tǒng)的方法、用于制造機電的變換器的方法和機電的變換器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710010169.9 | 申請日: | 2017-01-06 |
| 公開(公告)號: | CN107026231B | 公開(公告)日: | 2022-11-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | S.德內(nèi) | 申請(專利權(quán))人: | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號: | H01L41/083 | 分類號: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/27;H01L41/277 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李雪瑩 |
| 地址: | 德國斯*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 制造 機電 變換器 系統(tǒng) 方法 | ||
一種用來制造特別是用于機電的變換器(150)的層系統(tǒng)(15)的方法,具有如下步驟:把第一種彈性材料的第一層(9)敷設(shè)(23)到襯底(4)上;把第二種彈性材料的第二層(10)敷設(shè)(25)到所述第一層(9)上,其中,要么所述第一種彈性材料是導(dǎo)電的,而所述第二種彈性材料具有電介質(zhì),要么,所述第二種彈性材料是導(dǎo)電的,而所述第一種彈性材料具有電介質(zhì),其中,所述第一種彈性材料和/或所述第二種彈性材料通過電化學(xué)的離析予以敷設(shè)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于制造機電的變換器的層系統(tǒng)的方法、一種用于制造機電的變換器的方法以及一種機電的變換器。
背景技術(shù)
由DE 10 2012 212 222 A1已知一種可延展的、電的彈性體膜,其兩側(cè)設(shè)有電極層,其中,該材料由氟化硅-聚合物構(gòu)成或者采用氟化硅-聚合物構(gòu)成,且具有明顯改善的促動延展性。
DE 10 2013 213 413 A1披露了采用介電的彈性體膜作為促動器。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的用于制造機電的變換器的層系統(tǒng)的方法具有如下優(yōu)點:采用該方法制得的層非常均勻。此外,采用該方法可以制得很厚的層,這些層由此相比于其它材料具有很小的擊穿性(Durchl?ssigkeit)。通過該方法還可以實現(xiàn)很小的層厚度,特別是小于5μm的層厚度。采用該方法還可以按有利的方式制得在大面積內(nèi)無缺陷的層。這特別是對于電的特性例如層的絕緣特性至關(guān)重要。
前述優(yōu)點通過一種用于制造機電的變換器的層系統(tǒng)的方法得以實現(xiàn),該方法具有如下步驟:把第一種彈性材料的第一層敷設(shè)到襯底上;把第二種彈性材料的第二層敷設(shè)到第一層上,其中,要么第一種彈性材料是導(dǎo)電的,而第二種彈性材料具有電介質(zhì),要么,第二種彈性材料是導(dǎo)電的,而第一種彈性材料具有電介質(zhì),其中,第一種彈性材料和/或第二種彈性材料通過電化學(xué)的離析被敷設(shè)。
電介質(zhì)可以是一種電弱性的或不導(dǎo)電的、非金屬的物質(zhì)。它既可以是液體、凝膠,或者是固體,該固體的載流子通常不能自由移動。電介質(zhì)例如可以是硅樹脂或生膠。
彈性材料可以是一種具有小的彈性模量的材料。彈性材料尤其可以是橡膠類的和/或生膠類的材料,例如硅樹脂,或者是其彈性模量小于10 N/mm2、優(yōu)選小于5N/mm2、特別優(yōu)選小于1N/mm2、更特別優(yōu)選小于0.1N/mm2的材料或材料組分。由碳納米管(CNT)構(gòu)成的敷層也表現(xiàn)出彈性,因而是一種彈性材料。
“導(dǎo)電”在此可以系指:材料具有引導(dǎo)電流的特性。這尤其系指,導(dǎo)電能力大于1000S/m,優(yōu)選大于10000S/m,特別優(yōu)選大于100000S/m。
“電化學(xué)的離析”可以系指,一種材料在另一種材料或物體上離析,其中,要離析的材料在液體中溶解和/或擴散,其中,要離析的材料通過電場的作用而朝向該另一種材料移動。由此,要離析的材料的離子或分子和/或小粒或粒子團在該另一種材料的表面上沉積。特別是在已經(jīng)離析的材料中有空缺和/或缺陷部位時,電場的可能出現(xiàn)的不均勻性負責(zé)使得這些空缺或缺陷部位增強地被仍處于溶解或擴散中的材料填充。
層可以是一種平面的物體,其在由兩個相互垂直的方向形成的平面中延展,且在垂直于兩個其它方向的第三方向上具有明顯較小的延展距離。
層的電化學(xué)離析的另一優(yōu)點在于,前述優(yōu)點或特征具有高的可再現(xiàn)性,由此特別是也可以大面積地敷層。此外,電化學(xué)的離析的過程允許采用易于清潔的金屬襯底,特別是金屬襯底帶。用于通過電化學(xué)的離析來制造層的材料的特點尤其也在于,它們對健康和環(huán)境基本上很少有害處。
根據(jù)另一方面可以規(guī)定,通過敷設(shè)的步驟將第一種彈性材料的第三層敷設(shè)到第二層上。由此可以采用有利的方式實現(xiàn)一種層系統(tǒng),就該層系統(tǒng)而言,第一種材料的層嵌入在第二種材料的兩個層之間,或者,第二種材料的層嵌入在第一種材料的兩個層之間。
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