[發明專利]用于制造機電的變換器的層系統的方法、用于制造機電的變換器的方法和機電的變換器

有效

• 申請號: 201710010169.9
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN107026231B
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發明（設計）人: S.德內
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/047;H01L41/27;H01L41/277
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李雪瑩

1.一種用來制造層系統（15）的方法，具有如下步驟：

- 把第一種彈性材料的第一層（9）敷設（23）到襯底（4）上；

- 把第二種彈性材料的第二層（10）敷設（25）到所述第一層（9）上，

- 將第一種彈性材料的第三層（13）敷設（34）到所述第二層（10）上，

- 將第二種彈性材料的第四層（14）敷設（36）到所述第三層（13）上，

- 把一種材料（40）的第五層（39）敷設（27）和/或施加（27）到所述層系統（15）的外層（9、14）上和/或所述層系統（15）的兩個層（10、13）之間，這種材料至少在兩個橫向的方向中的一個方向上對所述層系統（15）予以增強，

其中，要么所述第一種彈性材料是導電的，而所述第二種彈性材料具有電介質，要么，所述第二種彈性材料是導電的，而所述第一種彈性材料具有電介質，其中所述第一種彈性材料和/或所述第二種彈性材料通過電化學的離析予以敷設，并且其中所述層（9、10、13、14、39）中的一個或多個層具有小于5μm的層厚度。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，至少一個方法步驟具有輥-對-輥-方法。

3.如前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于脫層步驟（29），其中，所述層系統（15）在敷設層（9、10、13、14）之后從所述襯底（4）脫層。

4.一種用于制造帶有層系統（15）的機電的變換器（150）的方法，該層系統采用根據前述權利要求中任一項所述的制造方法制得，其特征在于層壓步驟（32），其中，至少第一層系統（15a）與至少第二層系統（15b）層壓，使得第一種彈性材料的層（10a）和第二種彈性材料的層（9b）分別相互連接。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于卷繞步驟，其中，機電的變換器（150）卷繞成輥式促動器。

6.一種采用根據前述權利要求中任一項所述的方法制得的機電的變換器（150），該變換器由層系統（15）構成，該層系統具有至少三個相繼的平面的層（9、10、13）的層順序，其中，第一和第三層（9、13）具有第一種彈性的材料，第二層（10）具有第二種彈性的材料，其中，第一種彈性的材料是導電的，第二種彈性的材料具有電介質，其特征在于，第一種彈性的材料和/或第二種彈性的材料是可電化學地離析的。

7.如權利要求6所述的機電的變換器（150），其特征在于，所述第一種彈性的材料被設計成電極。

8.如權利要求6或7所述的機電的變換器（150），其特征在于，所述電介質是彈性體。

9.如權利要求6至8中任一項所述的機電的變換器（150），其特征在于，所述第一種彈性的材料被設計成復合材料，該復合材料具有決定了機械特性的彈性的載體材料，且具有決定了導電性的導電的組分。