[發(fā)明專(zhuān)利]評(píng)價(jià)裝置、探針位置的檢查方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710010160.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106960804B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竹迫憲浩;岡田章;野口貴也
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

1.一種評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

具有：

支撐部，其將半導(dǎo)體裝置固定，并使所述半導(dǎo)體裝置的上表面和下表面露出；

第1絕緣板，其設(shè)置于所述支撐部的上方；

第2絕緣板，其設(shè)置于所述支撐部的下方；

多個(gè)第1探針，它們固定于所述第1絕緣板；

多個(gè)第2探針，它們固定于所述第2絕緣板；以及

探針位置檢查裝置，其安裝于所述支撐部，

所述探針位置檢查裝置具有：

框體，其在所述第1絕緣板側(cè)具有第1透明部件，在所述第2絕緣板側(cè)具有第2透明部件；

內(nèi)部棱鏡，其設(shè)置于所述框體之中；

棱鏡旋轉(zhuǎn)部，其在所述框體之中使所述內(nèi)部棱鏡旋轉(zhuǎn)；以及

拍攝部，其經(jīng)由所述內(nèi)部棱鏡對(duì)與所述第1透明部件接觸的所述多個(gè)第1探針、或者與所述第2透明部件接觸的所述多個(gè)第2探針進(jìn)行拍攝，設(shè)置于所述框體之外。

2.一種評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

具有：

支撐部，其將半導(dǎo)體裝置固定，并使所述半導(dǎo)體裝置的上表面和下表面露出；

第1絕緣板，其設(shè)置于所述支撐部的上方；

第2絕緣板，其設(shè)置于所述支撐部的下方；

多個(gè)第1探針，它們固定于所述第1絕緣板；

多個(gè)第2探針，它們固定于所述第2絕緣板；以及

探針位置檢查裝置，其安裝于所述支撐部，

所述探針位置檢查裝置具有：

框體，其在所述第1絕緣板側(cè)或者所述第2絕緣板側(cè)具有透明部件；

內(nèi)部棱鏡，其設(shè)置于所述框體之中；

框體旋轉(zhuǎn)部，其使所述框體旋轉(zhuǎn)；以及

拍攝部，其經(jīng)由所述內(nèi)部棱鏡對(duì)與所述透明部件接觸的所述多個(gè)第1探針或者所述多個(gè)第2探針進(jìn)行拍攝，設(shè)置于所述框體之外。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述探針位置檢查裝置具有外部棱鏡，該外部棱鏡設(shè)置于所述框體的外部，

所述拍攝部安裝于所述第1絕緣板或者所述第2絕緣板，經(jīng)由所述第1透明部件或者所述第2透明部件，以及所述內(nèi)部棱鏡、所述外部棱鏡對(duì)所述多個(gè)第1探針或者所述多個(gè)第2探針進(jìn)行拍攝。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述探針位置檢查裝置具有外部棱鏡，該外部棱鏡設(shè)置于所述框體的外部，

所述拍攝部安裝于所述第1絕緣板或者所述第2絕緣板，經(jīng)由所述透明部件、所述內(nèi)部棱鏡和所述外部棱鏡對(duì)所述多個(gè)第1探針或者所述多個(gè)第2探針進(jìn)行拍攝。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述拍攝部以處于所述框體之外的方式安裝于所述框體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述探針位置檢查裝置具有透明的保護(hù)膜，該保護(hù)膜設(shè)置于所述第1透明部件的表面或者所述第2透明部件的表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述保護(hù)膜比所述第1透明部件以及所述第2透明部件柔軟。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述探針位置檢查裝置具有透明的保護(hù)膜，該保護(hù)膜設(shè)置于所述透明部件的表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

所述保護(hù)膜比所述透明部件柔軟。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～4、6～9中任一項(xiàng)所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

具有安裝于所述第1絕緣板或者所述第2絕緣板的照明。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的評(píng)價(jià)裝置，其特征在于，

具有反射鏡，該反射鏡以將所述照明的光向所述框體的內(nèi)部引導(dǎo)的方式安裝于所述框體。