[發(fā)明專利]一種制備非蒸散型薄膜吸氣劑的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710009732.0
• 申請(qǐng)日: 2017-01-06
• 公開（公告）號(hào): CN106835024B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周東平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州晶鼎鑫光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/14;C23C14/54;B01J20/02
• 代理公司: 北京勁創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11589
• 代理人: 王志敏

1.一種制備非蒸散型薄膜吸氣劑的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將若干吸氣金屬一一對(duì)應(yīng)放置于鍍膜機(jī)的若干蒸發(fā)舟內(nèi)作為靶材，所述吸氣金屬為三種，分別是鈦、鋯、釩，蒸發(fā)舟的數(shù)量為三個(gè)，各蒸發(fā)舟的工作參數(shù)單獨(dú)可控，各蒸發(fā)舟處一一對(duì)應(yīng)設(shè)有膜厚監(jiān)測(cè)儀，以監(jiān)測(cè)對(duì)應(yīng)蒸發(fā)舟內(nèi)吸氣金屬的蒸發(fā)速率；

S2、將基片和蒸發(fā)舟放入鍍膜機(jī)的真空腔內(nèi)；

S3、對(duì)真空腔內(nèi)抽真空；

S4、對(duì)吸氣金屬進(jìn)行預(yù)熔，并控制各蒸發(fā)舟的工作參數(shù)使各吸氣金屬同時(shí)蒸發(fā)；

S5、根據(jù)膜厚監(jiān)測(cè)儀的反饋值調(diào)整蒸發(fā)舟的工作參數(shù)，以將鈦、鋯、釩的蒸發(fā)速率比調(diào)整為3.874∶3.845∶2.281；

所述膜厚監(jiān)測(cè)儀為晶振。