[發明專利]一種新型的顯影單元在審
| 申請號： | 201710007086.4 | 申請日： | 2017-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN106597817A | 公開（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發明（設計）人： | 張鵬飛;施杰;龔冰 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京聿宏知識產權代理有限公司11372 | 代理人： | 吳大建 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 顯影 單元 | ||
1.一種新型的顯影單元，其特征在于，包括顯影段和水洗段，
顯影段含有顯影室，水箱、顯影液儲液箱、泵及顯影噴淋裝置均位于顯影室中，
無論是處于RGB三色制程中的藍色制程還是保護層制程，彩色濾光片玻璃基板均經由搬入輸送機進入顯影室并通過水洗段的清洗室，最終經過搬出輸送機傳出，
當處于RGB三色制程中的藍色制程時，水箱關閉，顯影液儲液箱開啟，顯影液通過泵提供動力，對彩色濾光片玻璃基板上的藍色光阻進行顯影處理，
當處于保護層制程時，顯影液儲液箱關閉，水箱開啟，水通過泵提供動力，對顯影室內的殘留顯影液進行清洗。
2.根據權利要求1所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，水箱與顯影液儲液箱的啟閉通過電磁閥控制。
3.根據權利要求2所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，所述電磁閥為兩個，其中一個位于水箱管路上，另一個位于顯影液儲液箱管路上。
4.根據權利要求2所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，所述電磁閥的啟閉通過觸摸屏控制。
5.根據權利要求1所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，水箱與顯影噴淋裝置連接。
6.根據權利要求1所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，對顯影室內殘留顯影液進行清洗的時間為15分鐘。
7.根據權利要求1所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，所述泵的數量為兩個，其中一個位于水箱管路上，另一個位于顯影液儲液箱管路上。
8.根據權利要求1所述的一種新型的顯影單元，其特征在于，所述顯影段和水洗段均沒有設置高空輸送機及進出輸送機的升降機構。
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