[發明專利]濺射裝置

有效

• 申請號: 201710006470.2
• 申請日: 2017-01-05
• 公開（公告）號: CN106939412B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 李棟熙;申相原
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;宋志強

1.一種濺射裝置，包括：

第一電極和第二電極，彼此面對地配置在腔室內；

多個靶，沿第一方向彼此隔開地配置在所述第二電極的第一面上；以及

磁場生成部，位于所述第二電極的朝向與所述第一面相反的一側的第二面上，并包括被配置為與所述多個靶中的每一個對應的多個磁鐵部件，

對于所述多個磁鐵部件中的每一個，所述磁鐵部件在與所述第一方向交叉的第二方向上的邊緣區域的磁場強度比所述磁鐵部件的中心區域的磁場強度小，

所述多個磁鐵部件中的每一個包括：第一區域，位于所述磁鐵部件的中心；第二區域，沿所述第二方向位于所述第一區域的兩側；以及第三區域，沿所述第二方向位于所述第二區域的兩側，

所述磁鐵部件的磁場強度按所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域的順序減小。

2.根據權利要求1所述的濺射裝置，其中，

在所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域中分別配置有多個單位磁鐵。

3.根據權利要求2所述的濺射裝置，其中，

所述多個單位磁鐵在與所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向上的長度按所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域的順序減小。

4.根據權利要求2所述的濺射裝置，其中，

所述多個單位磁鐵由不同的物質構成，使得所述磁鐵部件的磁場強度按所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域的順序減弱。

5.根據權利要求2所述的濺射裝置，其中，

所述多個單位磁鐵之間的間隔按所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域的順序增加。

6.根據權利要求2所述的濺射裝置，其中，

在每單位面積中，所述多個單位磁鐵所占的面積按所述第一區域、所述第二區域和所述第三區域的順序減小。

7.根據權利要求2所述的濺射裝置，其中，

所述多個單位磁鐵的截面形成為相同的形狀。

8.一種濺射裝置，包括：

第一電極和第二電極，彼此面對地配置在腔室內；

多個靶，沿第一方向彼此隔開地配置在所述第二電極的第一面上；以及

磁場生成部，位于所述第二電極的朝向與所述第一面相反的一側的第二面上，并包括被配置為與所述多個靶中的每一個對應的多個磁鐵部件，

對于所述多個磁鐵部件中的每一個，所述磁鐵部件在與所述第一方向交叉的第二方向上的邊緣區域的磁場強度比所述磁鐵部件的中心區域的磁場強度小，

所述多個磁鐵部件中的每一個包括：第四區域，位于所述磁鐵部件的沿所述第一方向的中心；以及第五區域，沿所述第一方向位于所述第四區域的兩側，

位于所述第五區域的多個單位磁鐵在與所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向上的長度從所述中心沿所述第一方向逐漸減小。