[發明專利]一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201710002822.7
• 申請日: 2017-01-03
• 公開（公告）號: CN106783887B
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 占建英;馮思林;張俊;沈奇雨
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 11274 北京中博世達專利商標代理有限公司
• 代理人: 申健

1.一種陣列基板，包括GOA區域，所述GOA區域設置有薄膜晶體管，其特征在于，所述薄膜晶體管包括依次設置在襯底上的柵極、柵絕緣層、有源層、源極和漏極；所述陣列基板還包括依次設置在所述源極和所述漏極遠離所述襯底一側的鈍化層和導電層；

其中，所述導電層在所述襯底上的正投影與所述有源層在所述襯底上的正投影重疊；

所述導電層在有源層與柵絕緣層界面處形成有導電層背溝道，在有源層與鈍化層界面處形成有導電層前溝道，向所述導電層輸入低電壓信號，當所述薄膜晶體管關閉時，所述導電層背溝道產生的漏電流與柵極前溝道產生的漏電流相互作用而抵消，所述導電層前溝道產生的漏電流與柵極背溝道產生的漏電流相互作用而抵消，以降低所述GOA區域內薄膜晶體管的漏電流；

所述導電層包括鏤空部分，所述鏤空部分內設置有導電結構，所述導電結構與所述導電層絕緣；

所述鈍化層上設置有過孔，所述導電結構通過所述過孔與所述漏極電連接；

所述導電結構用作測試電極。

2.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述導電層覆蓋所述GOA區域。

3.根據權利要求1或2所述的陣列基板，其特征在于，所述導電層為金屬導電層。

4.根據權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述金屬導電層的材料為遮光材料。

5.一種陣列基板的制備方法，所述陣列基板包括GOA區域，所述GOA區域形成有薄膜晶體管，其特征在于，所述薄膜晶體管包括依次形成在襯底上的柵極、柵絕緣層、有源層、源極和漏極；所述陣列基板還包括依次形成在所述源極和所述漏極遠離所述襯底一側的鈍化層和導電層；

其中，所述導電層在所述襯底上的正投影與所述有源層在所述襯底上的正投影重疊；

所述導電層在有源層與柵絕緣層界面處形成導電層背溝道，在有源層與鈍化層界面處形成導電層前溝道，向所述導電層輸入低電壓信號，當所述薄膜晶體管關閉時，所述導電層背溝道產生的漏電流與柵極前溝道產生的漏電流相互作用而抵消，所述導電層前溝道產生的漏電流與柵極背溝道產生的漏電流相互作用而抵消，以降低所述GOA區域內薄膜晶體管的漏電流；

所述導電層包括鏤空部分，所述鏤空部分內形成有導電結構，所述導電結構與所述導電層絕緣；

所述鈍化層上形成過孔，所述導電結構通過所述過孔與所述漏極電連接；

所述導電結構用作測試電極。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述導電層覆蓋所述GOA區域。

7.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1-4任一項所述的陣列基板。