[其他]薄膜器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201690000491.2
• 申請(qǐng)日: 2016-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207425835U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘆峰智行;小宮山卓;中磯俊幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/822
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/822;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;青煒

1.一種薄膜器件，其特征在于，具備：

基板；以及

多個(gè)樹(shù)脂層，它們層疊于所述基板的一個(gè)主面?zhèn)龋?/p>

所述多個(gè)樹(shù)脂層包括：

第一樹(shù)脂層，在所述第一樹(shù)脂層的一個(gè)主面設(shè)置有通過(guò)薄膜形成工序形成的薄膜電阻元件；以及

第二樹(shù)脂層，其配置于所述第一樹(shù)脂層的與所述基板相反的一側(cè)，并在所述第二樹(shù)脂層的一個(gè)主面設(shè)置有通過(guò)薄膜形成工序形成的第一束縛用薄膜，

所述薄膜電阻元件與所述第一束縛用薄膜配置為在俯視下重疊，

所述薄膜電阻元件的從一端部直至其另一端部的整體在俯視下與所述第一束縛用薄膜重疊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜器件，其特征在于，

所述薄膜電阻元件為多個(gè)薄膜電阻元件，

所述多個(gè)薄膜電阻元件中的全部薄膜電阻元件的從一端部直至另一端部的整體在俯視下與所述第一束縛用薄膜重疊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜器件，其特征在于，

在所述第二樹(shù)脂層的一個(gè)主面形成有布線用薄膜電極，該布線用薄膜電極通過(guò)薄膜形成工序形成并與所述薄膜電阻元件電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜器件，其特征在于，

在所述第二樹(shù)脂層的一個(gè)主面形成有布線用薄膜電極，該布線用薄膜電極通過(guò)薄膜形成工序形成并與所述薄膜電阻元件電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜器件，其特征在于，

所述第一束縛用薄膜與所述布線用薄膜電極分離地形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜器件，其特征在于，

所述第一束縛用薄膜與所述布線用薄膜電極分離地形成。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜器件，其特征在于，

所述第一束縛用薄膜與所述布線用薄膜電極一體形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜器件，其特征在于，

所述第一束縛用薄膜與所述布線用薄膜電極一體形成。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的薄膜器件，其特征在于，

所述多個(gè)樹(shù)脂層還包括：第三樹(shù)脂層，該第三樹(shù)脂層配置于所述第一樹(shù)脂層的所述基板側(cè)，并在該第三樹(shù)脂層的一個(gè)主面設(shè)置有通過(guò)薄膜形成工序形成的第二束縛用薄膜，

所述薄膜電阻元件與所述第二束縛用薄膜配置為在俯視下重疊。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的薄膜器件，其特征在于，

所述薄膜電阻元件含有Si。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜器件，其特征在于，

所述薄膜電阻元件含有Si。

12.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的薄膜器件，其特征在于，具備：

第一～第四外部電極；

可變?nèi)萘啃偷谋∧る娙萜髟?，其在所述第一、第二外部電極間串聯(lián)連接；

第一所述薄膜電阻元件，該第一所述薄膜電阻元件的一端與所述第三外部電極連接；以及

第二所述薄膜電阻元件，該第二所述薄膜電阻元件的一端與所述第四外部電極連接，

使所述第一、第二薄膜電阻元件各自的另一端分別與所述薄膜電容器元件的兩端連接，以便在所述第一、第二薄膜電阻元件的另一端之間插入所述薄膜電容器元件。