[發明專利]氣體產生裝置有效

申請號：	201680091718.3	申請日：	2016-12-19
公開（公告）號：	CN110088038B	公開（公告）日：	2022-08-30
發明（設計）人：	田畑要一郎;小野祐司;佐藤貴翔	申請（專利權）人：	東芝三菱電機產業系統株式會社
主分類號：	C01B13/11	分類號：	C01B13/11
代理公司：	永新專利商標代理有限公司 72002	代理人：	徐殿軍
地址：	日本***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	氣體產生裝置
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【權利要求書】：

1.一種氣體產生裝置，具有多個氣體產生器單元（4a~4f），各個氣體產生器單元具有產生輸出氣體的氣體產生器（43），其特征在于，所述氣體產生裝置具有：多交流電源部（3001、3001C），在所述多個氣體產生器單元之間共用，對所述多個氣體產生器單元供給多個交流電壓；以及氣體控制部（3003、3003B、3003C），在所述多個氣體產生器單元之間共用，控制供給至所述多個氣體產生器單元的原料氣體以及由所述多個氣體產生器單元產生的輸出氣體，所述氣體控制部包括：多個質量流控制器即MFC（38a~38f），與所述多個氣體產生器單元對應而設置，分別控制輸入對應的氣體產生器單元的原料氣體的流量即原料氣體流量；多個自動壓力控制器即APC（301a~301f），與所述多個氣體產生器單元對應而設置，分別控制對應的氣體產生器單元的氣體產生器內的壓力即內部壓力；以及多個氣體濃度計（39a~39f），與所述多個氣體產生器單元對應而設置，分別檢測對應的氣體產生器單元的氣體產生器輸出的輸出氣體的濃度作為檢測濃度，所述氣體產生裝置還具有執行針對所述多交流電源部的交流電力控制動作的交流電源控制部（3002、3002C），所述交流電力控制動作包括對于所述多個交流電壓，至少根據由對應的氣體濃度計檢測出的檢測濃度控制對應的交流電壓的電量的動作，所述多個氣體產生器單元、所述多交流電源部、所述氣體控制部及所述交流電源控制部被設置成一體。

2.根據權利要求1所述的氣體產生裝置，其特征在于，所述多個MFC分別檢測原料氣體流量作為檢測氣體流量，所述多個APC分別檢測對應的氣體產生器單元的輸出側的壓力作為檢測壓力，所述交流電力控制動作除根據由對應的氣體濃度計檢測出的檢測濃度外，還根據由對應的MFC檢測出的檢測氣體流量、以及由對應的APC檢測出的檢測壓力，控制對應的交流電壓的電量。

3.根據權利要求1所述的氣體產生裝置，其特征在于，所述原料氣體包括氧氣，所述輸出氣體包括臭氧氣體，所述氣體產生器是從氧氣產生臭氧氣體的臭氧產生器，所述多個氣體產生器單元是多個臭氧氣體產生器單元。

4.根據權利要求1所述的氣體產生裝置，其特征在于，所述原料氣體包括彼此不同的多種原料氣體，所述氣體控制部（3003B、3003C）具有被設置成將所述多種原料氣體分別供給至所述多個氣體產生器單元中對應的氣體產生器單元的原料氣體路徑，所述輸出氣體包括與所述多種原料氣體對應的多種輸出氣體。

5.根據權利要求4所述的氣體產生裝置，其特征在于，所述多種原料氣體包括氧氣即第一部分原料氣體和在所述第一部分原料氣體中添加了第二部分原料氣體的混合原料氣體，所述第二部分原料氣體是指包含CO₂氣體、CO氣體、乙烷C₂H6、丙烷C₃H₈、CF₄的碳類氣體、包含H₂、HF、HCL、HBr、H₂S的氫類氣體、包含N₂、NO₂、N₂O、NH₃的氮類氣體及包含F₂、SF₆、C₃F₈的氟類氣體中至少一種氣體。