[發明專利]基板搬運裝置

有效

• 申請號: 201680091394.3
• 申請日: 2016-12-15
• 公開（公告）號: CN110036706B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 蛭川立雄;近藤毅;深草祥史;加藤光昭;鳥居淳志;飯阪淳
• 申請（專利權）人: 株式會社富士
• 主分類號: H05K13/02
• 分類號: H05K13/02;H05K13/04;H05K3/34
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;安翔

1.一種基板搬運裝置，其特征在于，具備：

一對引導機構，以沿基板的搬運方向延伸的方式在相互分離的狀態下配置；

第一搬運帶，在基板的搬運方向的上游側分別配置于所述一對引導機構，將基板向下游側搬運；

第二搬運帶，在基板的搬運方向的下游側分別配置于所述一對引導機構，將由所述第一搬運帶搬運來的基板進一步向下游側搬運；及

保持裝置，對由所述第一搬運帶和所述第二搬運帶雙方支撐的基板進行保持，并且，所述第一搬運帶的下游側的端部與所述第二搬運帶的上游側的端部之間的距離比基板的搬運方向上的長度尺寸短，

對由所述保持裝置保持的基板執行作業，

所述基板搬運裝置具備使所述一對引導機構、所述第一搬運帶、所述第二搬運帶及所述保持裝置一體地升降的升降裝置，在通過所述升降裝置使所述一對引導機構、所述第一搬運帶、所述第二搬運帶及所述保持裝置一體地上升后的狀態下，對由所述保持裝置保持的基板執行作業，

在解除了所述保持裝置的保持之后，在通過所述升降裝置使所述一對引導機構、所述第一搬運帶、所述第二搬運帶及所述保持裝置一體地下降的過程中，所述第一搬運帶和所述第二搬運帶開始工作。

2.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其中，

所述一對引導機構分別具有一個導軌，

所述第一搬運帶和所述第二搬運帶配置于所述一個導軌。

3.根據權利要求1或2所述的基板搬運裝置，其中，

所述保持裝置將由所述第一搬運帶和所述第二搬運帶雙方支撐的基板以使該基板從所述第一搬運帶及所述第二搬運帶上升后的狀態進行保持，

在所述保持裝置的保持被解除后的基板朝著所述第一搬運帶和所述第二搬運帶下降的過程中，所述第一搬運帶和所述第二搬運帶開始工作。