[發明專利]感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷布線板的制造方法

在審

• 申請號: 201680091251.2
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN110023837A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 粂壯和;松村遼
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗

1.一種感光性元件，其為具備支撐膜和配置在該支撐膜上的感光層的感光性元件，其中，

所述感光層含有粘合劑聚合物、具有烯鍵式不飽和鍵的光聚合性化合物和光聚合引發劑，

所述支撐膜的靠所述感光層側的表面上的直徑為2μm以上的缺陷的數目是每2mm²為30個以下。

2.根據權利要求1所述的感光性元件，其中，

所述支撐膜具有聚酯膜、樹脂層和潤滑劑層，

所述樹脂層配置在所述感光層與聚酯膜之間，

所述潤滑劑層配置在所述聚酯膜的與所述樹脂層相反的一側。

3.根據權利要求1或2所述的感光性元件，其中，所述支撐膜的厚度為1～200μm。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的感光性元件，其中，所述支撐膜的霧度值為0.01～1.0％。

5.一種抗蝕圖案的形成方法，其具備以下工序：

將權利要求1～4中任一項所述的感光性元件的所述感光層層疊在基板上的層疊工序；

將活性光線照射到所述感光層的規定部分以形成光固化部的曝光工序；以及

將所述感光層中的除所述光固化部以外的區域除去的顯影工序。

6.一種印刷布線板的制造方法，其具備對具有利用權利要求5所述的抗蝕圖案的形成方法所形成的抗蝕圖案的基板實施選自刻蝕處理及鍍覆處理中的至少一種處理的工序。