[發(fā)明專利]用于形成自動傳輸?shù)母泄饩酆衔锊▽У淖韵露显O備設計

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680090291.5
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN109996758B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 索菲亞·S·楊;艾倫·J·雅各布森;喬安娜·A·柯洛德載伊斯基;羅伯特·E·多提;威廉·卡特;雅各·M·亨德利
• 申請（專利權）人: HRL實驗室有限責任公司
• 主分類號: B82B3/00
• 分類號: B82B3/00;B82Y40/00;G03B27/28;G03B27/30;G03F1/76
• 代理公司: 北京泰吉知識產(chǎn)權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;謝瓊慧

一種用于制造微桁架結構的系統(tǒng)。儲集器裝納一定量的液體感光單體，所述感光單體被配置成在暴露于如紫外光的合適的光時聚合以形成感光聚合物。在所述儲集器的底部的掩模包括多個孔。光穿過各個孔從若干方向進入所述儲集器，在所述儲集器內(nèi)形成多個自導的感光聚合物波導。光由一個或多個準直光源供應。多個鏡可反射來自單一準直光源的光以形成多個準直光束，其穿過所述掩模從對應的多個方向照亮所述儲集器中的所述感光單體，以形成包括多個自導的波導部件的微桁架結構。

相關申請的交叉引用

本申請涉及美國專利第7,382,959號(“'959專利”)和美國專利第7,938,989號(“'989專利”)，其全部內(nèi)容均以引用的方式并入本文中。

技術領域

根據(jù)本發(fā)明的實施例的一個或多個方面涉及用于制造微桁架結構的系統(tǒng)和方法，且更具體地說，涉及用于自下而上形成此類結構的系統(tǒng)和方法。

背景技術

微桁架結構(如'989專利中所公開的那些)具有多種應用。'989專利中所公開的制造方法涉及通過將合適的液體感光單體經(jīng)由一個或多個光掩模暴露于準直光而形成微桁架結構。此類液體感光單體可在光聚合工藝期間經(jīng)歷折射率變化，其可導致形成聚合物光學波導。如果光敏的單體在適當條件下暴露于光(例如紫外(UV)光)，則聚合的初始區(qū)域，如小圓形區(qū)域將“捕獲”光且將其導向至聚合區(qū)的尖端，從而進一步改進所述聚合區(qū)。此工藝將繼續(xù)，導致形成沿其整個長度具有大致或大約相同截面尺寸的波導結構。具有二維孔圖案的光掩模可用于在一盤感光單體從上方穿過光罩，通過準直光從若干不同方向照亮時產(chǎn)生三維聚合物微觀結構。

微桁架結構可通過用準直光從上方穿過位于液體感光單體上方的一個或多個光掩模照亮液體感光單體來自上而下地形成。

在一些情況下，可能有利的是自下而上地生長微桁架結構，并且因此需要用于自下而上地形成微桁架結構的系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的實施例的方面的目標為用于制造微桁架結構的系統(tǒng)。儲集器裝納一定量的液體感光單體，所述感光單體被配置成在暴露于合適的光(如紫外光)時聚合以形成感光聚合物。在儲集器底部的掩模包括多個孔。光穿過各個孔從若干方向進入儲集器，在儲集器內(nèi)形成多個自導的感光聚合物波導。光由一個或多個準直光源供應。多個鏡可反射來自單一準直光源的光以形成多個準直光束，其穿過掩模從對應的多個方向照亮儲集器中的感光單體，以在儲集器中形成包括多個自導的波導部件的微桁架結構。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，提供用于形成微桁架結構的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：具有壁和平坦底部的儲集器，其被配置成裝納一定量的液體感光單體，所述感光單體被配置成在暴露于光時形成感光聚合物；固定至或作為儲集器的底部的部分透明掩模；掩模上的釋放層，所述釋放層被配置成抵抗被感光聚合物粘著；在掩模下方的第一距離安置的阻斷器；在阻斷器下方安置的光源，其被配置成產(chǎn)生準直光，所述準直光適合于致使感光單體轉化為感光聚合物，且阻斷器對于所述準直光不透明；和相對于阻斷器傾斜的第一鏡，其被配置成反射來自阻斷器周圍的光源且穿過掩模且進入儲集器的光，阻斷器被安置成阻斷光從光源至掩模的直線路徑。

在一個實施例中，所述釋放層包括選自由以下組成的組的化合物作為主要組分：可噴涂脫模劑化合物、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯以及其組合。

在一個實施例中，掩模為儲集器的底部。

在一個實施例中，儲集器的底部由與儲集器的壁相同的材料構成，且儲集器的底部與儲集器的壁成一體。

在一個實施例中，所述釋放層包括選自由聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯以及其組合組成的組的化合物作為主要組分，且其中所述釋放層為儲集器的底部。

在一個實施例中，系統(tǒng)包括所述釋放層上的襯底，襯底為被配置成變?yōu)槲㈣旒芙Y構的一部分的平板，襯底包括選自由亞克力、聚對苯二甲酸乙二酯以及其組合組成的組的化合物作為主要組分。